Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований

И. М. Фодчук, Ю. Т. Роман, С. В. Баловсяк

Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 58012 Черновцы, Украина

Получена: 26.06.2017. Скачать: PDF

Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации.

Ключевые слова: нитрид титана, тонкие плёнки, рентгеновская дифрактометрия, вейвлет-анализ.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v39/i07/0855.html

PACS: 02.60.Gf, 07.85.-m, 42.30.Va, 61.05.cp, 61.72.Mm, 68.55.ag, 81.05.Hd

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

X. Lu, G. Wang, T. Zhai, M. Yu, S. Xie, Y. Ling, C. Liang, Y. Tong, and Y. Li, Nano Lett., 12, No. 10: 5376 (2012). Crossref
V. M. Vinokur, T. I. Baturina, M. V. Fistul, A. Yu. Mironov, M. R. Baklanov, and C. Strunk, Nature, 452, No. 7187: 613 (2008). Crossref
M. Tao, D. Udeshi, S. Agarwal, E. Maldonado, and W. P. Kirk, Solid-State Electron., 48, No. 2: 335 (2004). Crossref
G. Gagnon, J. F. Currie, C. Beique, J. L. Brebner, L. Gujrathi, and S. G. Onllet, J. Appl. Phys., 75, No. 2: 1565 (1994). Crossref
М. Н. Солован, В. В. Брус, Э. В. Майструк, П. Д. Марьянчук, Неорганические материалы, 50, № 1: 46 (2014). Crossref
M. S. R. N. Kiran, M. Ghanashyam Krishna, and K. A. Padmanabhan, Appl. Surf. Sci., 255, No. 5: 1934 (2008). Crossref
М. Н. Солован, В. В. Брус, П. Д. Марьянчук, Физика и техника полупроводников, 48, № 2: 232 (2014).
V. V. Brus, M. I. Ilashchuk, Z. D. Kovalyuk, P. D. Maryanchuk, and K. S. Ulyanytskiy, Semicond. Sci. Technol., 26, No. 12: 125006 (2011). Crossref
В. В. Брус, М. И. Илащук, З. Д. Ковалюк, П. Д. Марьянчук, К. С. Ульяницкий, Б. Н. Грицюк, Физика и техника полупроводников, 45, № 8: 1109 (2011).
A. L. Fahrenbruch and R. H. Bube, Fundamentals of Solar Cells: Photovoltaic Solar Energy Conversion (New York: Academic Press: 1983).
B. L. Sharma and R. K. Purohit, Semiconductor Heterojunctions (Oxford, New York: Pergamon Press: 1974).
M. N. Solovan, V. V. Brus, P. D. Maryanchuk, I. M. Fodchuk, V. M. Lorents, A. M. Sletov, M. M. Sletov, and M. Gluba, Opt. Spectrosc., 117, No. 5: 755 (2014). Crossref
A. N. Kuchuk, V. P. Kladko, V. F. Machulin, A. Piotrowska, E. Kaminska, K. Golaszewska, R. Ratajczak, and R. Minikayev, Rev. Adv. Mater. Sci., 8, No. 1: 22 (2004).
R. Gonzalez, R. Woods, and S. Eddins, Digital Image Processing Using MATLAB (New Jersey: Pearson Education Inc.: 2004).
A. K. Kulkarni, H. Schulz Kirk, T. S. Lim, and M. Khan, Thin Solid Films, 345, No. 2: 273 (1999). Crossref
S. B. Hu, J. P. Tu, Z. Mei, Z. Z. Li, and X. B. Zhang, Surf. Coat. Technol., 141, Nos. 2–3: 174 (2001). Crossref
T. S. Li, H. Li, and F. Pan, Surf. Coat. Technol., 137, Nos. 2–3: 225 (2001). Crossref
M. Haichuan, J. Seok, and R. Y. Lin, J. Electrochem. Soc., 150, No. 2: C67 (2003). Crossref