Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B$_{4}$C при нагріві до 360°C

І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова

Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна

Отримано: 16.05.2016. Завантажити: PDF

Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/B$_{4}$C з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами B$_{4}$C товщиною у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії вивчено зміни у структурі цієї композиції при нагріванні до 360°C. Встановлено, що тонкі шари Sb у багатошаровій композиції Sb/B$_{4}$C залишаються в аморфному стані до 250°C. За температури 290°C відбувається кристалізація шарів сурми. Це приводить до збільшення густини шарів сурми і зменшення періоду багатошарової композиції на 13,8%. Кристалізація сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз, які викривлюють і руйнують багатошарове покриття.

Ключові слова: сурма, карбід бору, аморфний стан, багатошарова композиція, наношари, рентґенівська дифракція.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i07/0911.html

PACS: 07.85.Fv, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Ct, 68.55.J-, 68.60.Dv, 68.65.Ac


ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. Е. А. Вишняков, М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, С. А. Старцев, Квантовая электроника, 41, № 1: 75 (2011). Crossref
  2. I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, E. M. Gullikson, E. A. Vishnyakov, and E. N. Ragozin, Appl. Surf. Sci., 307: 360 (2014). Crossref
  3. M. Barthelmess and S. Bajt, Appl. Opt., 50: 1610 (2011). Crossref
  4. Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, Proc. SPIE, 8076: 80760N (2011). Crossref
  5. Е. А. Вишняков, Д. Л. Воронов, E. M. Gullikson, В. В. Кондратенко, И. А. Копылец, М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, А. Н. Шатохин, Квантовая электроника, 43, № 7: 666 (2013). Crossref
  6. Source: http://sci-progs.com/
  7. Van Nostrand’s Scientific Encyclopedia. 10th ed. (Ed. Glenn D. Considine) (New York: John Wiley & Sons: 2008), vol. 1.
  8. H. Okamoto, J. Phase Equilibria, 12, No. 3: 391 (1991). Crossref
  9. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник (Ред. Н. П. Лякишев) (Москва: Машиностроение: 1996), т. 1.
  10. R. Wang, Bulletin of Alloy Phase Diagrams, 1, Iss. 1: 23 (1980). Crossref