В роботі досліджено вплив товщин окремих шарів і роздільчих меж у шаруватих плівкових композиціях [Pt/Fe]n (n = 1, 2, 4, 8) товщиною у 30 нм, осаджених на підложжя SiO$_{2}$(100 нм)/Si(001) магнетронною методою, на формування їхніх структури та фазового складу при відпалах у вакуумі в інтервалі температур 400—900°C. Показано що, збільшення кількости меж при зменшенні товщини шару сприяє активації дифузійних процесів на роздільчих межах і формуванню невпорядкованої фази $A1$-FePt у композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]$_{4}$ та початку формування частково упорядкованих областей із тетрагональними спотвореннями у композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]$_{8}$ вже при осадженні. Фазове перетворення $A1$-FePt $\rightarrow$ $L1_{0}$-FePt у плівкових композиціях починається під час відпалення за температури у 700°C. У плівковій композиції [Pt(4,2 нм)/Fe(3,2 нм)]$_{4}$ утворюється більша кількість зерен, орієнтованих у напрямку [001], перпендикулярному до підложжя. Менший ступінь впорядкування є характерним для плівкової композиції [Pt(2,1 нм)/Fe(1,6 нм)]$_{8}$. Додаткова кількість роздільчих меж стримує ріст зерен впорядкованої фази $L1_{0}$-FePt при термічному обробленні в температурному інтервалі 700—800°C.