Випуски МФіНТ »  Том 41, випуск 3

Визначення величини локальних деформацій та їх анізотропії в полікристалічному Ge за даними дифракції зворотно розсіяних електронів

І. М. Фодчук$^{1}$, М. С. Солодкий$^{1}$, М. Д. Борча$^{1}$, С. В. Баловсяк$^{1}$, В. М. Ткач$^{2}$

$^{1}$Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, вул. Коцюбинського, 2, 58012 Чернівці, Україна
$^{2}$Інститут надтвердих матеріалів ім. В. М. Бакуля НАН України, вул. Автозаводська, 2, 04074 Київ, Україна

Отримано: 11.10.2018. Завантажити: PDF

Запропоновано новий підхід визначення величини середніх деформацій з картин дифракції зворотно розсіяних електронів в локальних ділянках полікристалічних зразків з ґратницею алмазу. Для аналізу змін форми і площі профілю інтенсивності смуг Кікучі використано дискретне двовимірне Фур’є-перетворення картин Кікучі та їх енергетичний Фур’є-спектр. Ступінь розмиття смуг на картинах Кікучі пов’язана з величинами деформацій, які кількісно описуються через зміни середнього радіального періоду і площі під радіальним розподілом енергетичного спектру зображення.

Ключові слова: полікристалічний Ge, дифракція зворотного розсіювання електронів, метод Кікучі, Фур’є-перетворення, енергетичний Фур'є-спектр, деформація.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v41/i03/0403.html

PACS: 61.05.jm, 61.72.Dd, 61.72.Mm, 61.72.uf, 68.35.bg, 68.35.Gy

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. M. Bosi and G. Attolini, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater., 56, No. 3: 146 (2010). Crossref
  2. H. Shang, H. Okorn-Schimdt, J. Ott, P. Kozlowski, S. Steen, E. C. Jones, H.-S. P. Wong, and W. Hanesch, IEEE Electron Device Lett., 24, No. 4: 242 (2003). Crossref
  3. M. Miyao, E. Murakami, H. Etoh, K. Nakagawa, and A. Nishida, J. Cryst. Growth, 111, Nos. 1–4: 912 (1991). Crossref
  4. S. J. Koester, J. D. Schaub, G. Dehlinger, and J. O. Chu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., 12, No. 6: 1489 (2006). Crossref
  5. J. Olson, S. Kurtz, A. Kibbler, and A. Faine, Appl. Phys. Lett., 56, No. 7: 623 (1990). Crossref
  6. R. R. King, D. C. Law, K. M. Edmondson, C. M. Fetzer, G. S. Kinsey, H. Yoon, R. A. Sherif, and N. H. Karam, Appl. Phys. Lett., 90, No. 18: 183516 (2007). Crossref
  7. D. Shahrjerdi, B. Hekmatshoar, S. S. Mohajerzadeh, A. Khakifirooz, and M. Robertson, J. Electron. Mater., 33, No. 4: 353 (2004). Crossref
  8. N. Yoshida, Y. Hatano, and M. Isomura, Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 95, No. 1: 175 (2011). Crossref
  9. W. Ludwig, S. Schmidt, E. M. Lauridsen, and H. F. Poulsen, J. Appl. Crystallogr., 41: 302 (2008). Crossref
  10. A. J. Schwartz, M. Kumar, B. Adams, and D. Field, Electron Backscatter Diffraction in Materials Science (USA: Boston, MA: Springer: 2009). Crossref
  11. I. M. Fodchuk, V. M. Tkach, V. G. Ralchenko, A. P. Bolshakov, E. E. Ashkinazi, I. I. Vlasov, Y. D. Garabazhiv, S. V. Balovsyak, S. V. Tkach, and O. M. Kutsay, Diamond Relat. Mater., 19, Nos. 5–6: 409 (2010). Crossref
  12. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, phys. status solidi (a), 208, No. 11: 2591 (2011). Crossref
  13. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics, 13, No. 3: 262 (2010).
  14. M. D. Borcha, S. V. Balovsyak, I. M. Fodchuk, V. Yu. Khomenko, O. P. Kroitor, and V. N. Tkach, J. Superhard Materials, 35, No. 5: 284 (2013). Crossref
  15. D. J. Dingley, A. J. Wilkinson, G. Meaden, and P. S. Karamched, J. Electron. Mater., 59, No. 1: 155 (2010). Crossref
  16. M. D. Borcha, S. V. Balovsyak, I. M. Fodchuk, V. Yu. Khomenko, and V. N. Tkach, J. Superhard Materials, 35, No. 4: 220 (2013). Crossref
  17. М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, Я. Д. Гарабажив, В. М. Ткач, И. М. Фодчук, Металлофиз. новейшие технол., 31, № 7: 911 (2009).
  18. М. Д. Борча, А. В. Звягинцева, В. М. Ткач, К. А. Ющенко, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 10: 1359 (2013).
  19. A. Stoll and A. J. Wilkinson, Comput. Mater. Sci., 89: 224 (2014). Crossref
  20. Y. Sasaki, M. Igushi, and M. Hino, Key Eng. Mater., 326–328: 237 (2006). Crossref
  21. D. L. Davidson, J. Mater. Sci. Lett., 1, No. 6: 236 (1982). Crossref
  22. Y. Yoshitomi, K. Ohta, J. Harase, and Y. Suga, Textures and Microstructures, 22, No. 4: 199 (1994). Crossref
  23. М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, В. М. Ткач, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 8: 1137 (2013).
  24. A. Wilkinson and B. Britton, Mater. Today, 15, No. 9: 366 (2012). Crossref
  25. С. В. Баловсяк, І. М. Фодчук, Комп’ютинг, 12, № 2: 160 (2013).
  26. S. V. Balovsyak, O. V. Derevyanchuk, and I. M. Fodchuk, Advances in Computer Science for Engineering and Education (Eds. Z. Hu, S. Petoukhov, I. Dychka, and M. He) (Switzerland: Cham: Springer: 2018). Crossref
  27. Р. Гонсалес, Р. Вудс, Цифровая обработка изображений (Москва: Техносфера: 2005).
  28. Р. Гонсалес, Р. Вудс, С. Эддинс, Цифровая обработка изображений в среде MatLab (Москва: Техносфера: 2006).

© 2013–2019 «ІМФ НАН України»