Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti—W—C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Показано, что использование в качестве составляющих квазибинарной системы фаз с разной теплотой образования (TiC с относительно большой теплотой образования 183,8 кДж/моль и WC со сравнительно низкой теплотой образования 37,7 кДж/моль) позволяет изменять фазовый состав от монокарбида, стабильного до высоких температур, до многофазного состояния из фаз низших карбидов. Увеличение температуры подложки при осаждении приводит к анизотропному росту кристаллитов с преимущественным ростом в направлении падения частиц. С повышением содержания TiC-составляющей с высокой энергией связи средний размер кристаллитов увеличивается. В то же время большое содержание WC-составляющей позволяет перевести структурное состояние материала на наноуровень с размером кристаллитов 4—20 нм.