В работе приведены результаты исследования структуры, фазового состава, рельефа и сверхпроводящих характеристик кислородосодержащих тонких плёнок диборида магния (MgB$_2$), осаждённых на диэлектрическую подложку посредством магнетронного распыления диборид-магниевых мишеней. Показана возможность формирования в процессе осаждения и отжига плёнок различной степени кристаллического совершенства и фазового состава в зависимости от условий осаждения и отжига. В плёнках возможна реализация различных комбинаций центров пиннинга вихрей Абрикосова (в местах флуктуаций критической температуры сверхпроводящего перехода ($\Delta Т_с$-тип) и в местах флуктуаций длины свободного пробега ($\Delta l$-тип)), на возникновение и плотность которых влияют условия синтеза плёнок. Показано, что осаждённые плёнки состоят из сверхпроводящей матрицы, представляющей собой твёрдый раствор кислорода в решётке диборида магния типа MgB$_{x}$О$_{у}$; при этом плотность сверхпроводящего критического тока плёнок может достигать значений $1,8 \cdot 10^{11}-8,2 \cdot 10^{10}$ А/м$^2$ при 10 К и $8 \cdot 10^{10}-2,8 \cdot 10^{10}$ А/м$^2$ при 20 К в полях 0—1 Тл (при ориентации внешнего магнитного поля перпендикулярно плоскости подложки).