В работе представлена новая модель реакционной диффузии для бинарной системы при наличии в ней неравновесного распределения вакансий. Рассмотрено и проанализировано влияние источников/стоков вакансий на кинетику реакционной диффузии. Показано, что рост толщины фазы происходит с большей скоростью в том случае, когда источники и стоки вакансий действуют не только на межфазных границах, но и в объёме растущей фазы. Учёт неравновесных вакансий при моделировании реакционной диффузии особенно важен для систем, компоненты которых имеют значительное различие диффузионных подвижностей.