Динамическая теория трёхкристальной рентгеновской дифрактометрии и характеристика микродефектов и деформаций в неидеальных монокристаллах
В. Б. Молодкин1, С. И. Олиховский1, Е. Г. Лень1, Е. Н. Кисловский1, О. В. Решетник1, Т. П. Владимирова1, Б. В. Шелудченко1, Е. С. Скакунова1, В. В. Лизунов1, Е. В. Кочелаб1, И. М. Фодчук2, В. П. Кладько3
1Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 36, 03680, ГСП, Киев-142, Украина
2Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 50012 Черновцы, Украина
3Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарьова НАН Украины, просп. Науки, 41, 03028 Киев, Украина
Получена: 10.11.2015. Скачать: PDF
В работе представлен краткий обзор основных принципов, используемых при получении аналитических выражений для когерентной и диффузной интенсивностей рассеяния, измеряемых трёхкристальным дифрактометром (ТКД). Получены точные аналитические выражения для диффузных компонент как ТКД-профилей, так и карт обратного пространства, измеренных в геометрии дифракции по Брэггу для кристаллов, содержащих микродефекты нескольких типов. Эти формулы получены при использовании обобщённой динамической теории рассеяния рентгеновских лучей неидеальными кристаллами со случайно распределёнными микродефектами. Представлены некоторые примеры, демонстрирующие возможности разработанной теории для количественной характеризации несовершенств структуры в реальных монокристаллах. В частности, путём аналитической обработки измеренных ТКД-профилей, кривых отражения и карт обратного пространства определены характеристики сложных структур микродефектов, созданных в кристаллах кремния методами Чохральского и зонной плавки.
Ключевые слова: динамическое рассеяние, трёхкристальный дифрактометр, двухкристальный дифрактометр, микродефекты.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i01/0099.html
PACS: 61.05.cc, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.J-, 68.35.Gy, 81.40.Ef, 81.40.Wx