Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры наноразмерных плёнок CoSb$_{х}$ (30 нм) (1,8 $\leq х \leq$ 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%. Определено, что при осаждении на подложки при комнатной температуре формируется рентгеноаморфное состояние. При дальнейшем нагреве после кристаллизации область существования фазы CoSb$_3$ расширяется (75–80 ат.% Sb) по сравнению с массивным состоянием (75 ат.% Sb). При увеличении температуры подложки до 200°C образуются плёнки Co–Sb в кристаллическом состоянии, и закономерности формирования фазового состава в них характеризуются последовательностью превращений, которая соответствует диаграмме фазового равновесия для массивного состояния системы Co–Sb. Установлено, что плёнки на основе CoSb$_3$ термически стабильны до $\cong$ 300°C. Отжиг плёнок Co–Sb как в вакууме, так и в атмосфере азота при температурах выше 300°C приводит к сублимации как избыточной сурьмы, так и сурьмы из кристаллической фазы CoSb$_3$. Показано, что влияние среды отжига для плёнок Co–Sb проявляется в более интенсивной сублимации сурьмы при отжиге в вакууме. Установлено, что более интенсивный процесс сублимации Sb при отжиге рентгеноаморфных плёнок как в вакууме, так и в атмосфере азота, связан с меньшей энергией активации сублимации Sb по сравнению с плёнками в кристаллическом состоянии.