Электронно-микроскопическая «in situ» видеорегистрация кристаллизации тонких аморфных плёнок
А. Г. Багмут
Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичёва, 2, 61002 Харьков, Украина
Получена: 05.12.2019; окончательный вариант - 15.04.2020. Скачать: PDF
В статье обобщены результаты электронно-микроскопических исследований «in situ» кристаллизации тонких аморфных плёнок. Анализ данных проведён на основе классификационной схемы электронно-лучевой кристаллизации плёнок, включающей структурно-морфологические и числовые характеристики. Выделены слоевая полиморфная кристаллизация (как аналог моды роста Франка–ван-дер-Мерве), островковая полиморфная кристаллизация (как аналог моды роста Фольмера–Вебера) и дендритная полиморфная кристаллизация (как аналог моды роста Странского–Крастанова). Для каждого типа кристаллизации определён безразмерный параметр относительной длины $\delta_0$, равный отношению характеристической длины к величине, связанной с размером элементарной ячейки кристалла. На основе электронно-микроскопической видеорегистрации процесса для каждого типа превращения построены кинетические кривые кристаллизации.
Ключевые слова: кинетика кристаллизации, моды роста кристаллов, ПЭМ, аморфные плёнки, относительная длина, видеорегистрация.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v42/i08/1065.html
PACS: 61.05.cp, 61.43.Dq, 61.72.Cc, 64.70.kd, 68.37.Lp, 68.55.A-