Скользящая дифракция (grazing incidence diffraction–GID) рентгеновских лучей, падающих под малыми углами (сравнимых с углом полного внешнего отражения), является мощным инструментом диагностики дефектов в приповерхностных слоях и в тонких плёнках. В данной статье разработана динамическая модель диффузного рассеяния рентгеновского излучения в кристалле с приповерхностными дефектами типа центров дилатации. Основная информация об искажениях кристаллической решётки вблизи поверхности заключена в диффузных компонентах рассеяния, сосредоточенных в окрестности когерентных пиков зеркально отражённой и зеркально дифрагированной волн. Для вычисления амплитуд диффузного рассеяния предложен новый подход, связанный с приближением искажённой волны (distorted wave Born approximation–DWBA). Фурье-компоненты атомных смещений выражены с помощью точных формул континуального приближения, которые получены с учётом сил изображения, обусловленных влиянием границы раздела. Рассчитаны карты интенсивности скользящего диффузного рассеяния на приповерхностных дефектах, хаотически расположенных в плоском слое. Для разных схем сканирования определены условия регистрации преимущественно диффузной составляющей в скользящей дифракции.