Ковзна дифракція (grazing incidence diffraction–GID) Рентґенових променів, що падають під малими кутами (порівнянними з кутом повного зовнішнього відбивання), є потужним інструментом діагностики дефектів у приповерхневих шарах і в тонких плівках. У даній статті розроблено динамічну модель дифузного розсіяння Рентґенового випромінення у кристалі з приповерхневими дефектами типу центрів дилатації. Основна інформація про викривлення кристалічної ґратниці поблизу поверхні міститься в дифузних компонентах розсіяння, зосереджених навколо когерентних піків дзеркально відбитої і дзеркально дифрагованої хвиль. Для обчислення амплітуд дифузного розсіяння запропоновано новий підхід, пов’язаний з наближенням спотвореної хвилі (distorted wave Born approximation–DWBA). Фур’є-компоненти атомних зміщень виражено за допомогою точних формул континуального наближення, яких одержано з урахуванням сил зображення, обумовлених межею поділу. Розраховано карти розподілу інтенсивности ковзного дифузного розсіяння на приповерхневих дефектах, хаотично розташованих у пласкому шарі. Для різних схем сканування визначено умови реєстрації переважно дифузної складової в ковзній дифракції.