Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
В. В. Сидский$^{1}$, А. Г. Рыбаков$^{1}$, А. В. Семченко$^{1}$, И. Ю. Осипова$^{1}$, В. В. Колос$^{2}$, А. С. Турцевич$^{2}$, А. Н. Асадчий$^{1}$
$^{1}$Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, ул. Советская, 104, 246019 Гомель, Беларусь
$^{2}$ОАО «Интеграл», ул. Корженевского, 12, 220108 Минск, Беларусь
Получена: 21.11.2013. Скачать: PDF
Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi$_{2}$Ta$_{2}$O$_{9}$ (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300°C в течение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристаллический кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгеновских исследований показывают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом формирование фазы перовскита начинается при температуре 700°C и завершается в диапазоне 750—800°C. Исследование морфологии поверхности методом атомно-силовой микроскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750°C наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжённая при температуре 750°C в течение 60 минут, имеет максимальный пик диэлектрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри $T_{K}$ = 300—370°C, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в парафазе.
Ключевые слова: SBT-плёнка, перовскит, сегнетоэлектрик, золь, термообработка, золь—гель-метод, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i09/1237.html
PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 77.55.fb, 81.20.Fw, 81.40.Ef, 81.40.Tv