Зависимость структурных свойств SBT-плёнок от температуры синтеза
В. В. Сидский1, А. Г. Рыбаков1, А. В. Семченко1, И. Ю. Осипова1, В. В. Колос2, А. С. Турцевич2, А. Н. Асадчий1
1Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, ул. Советская, 104, 246019 Гомель, Беларусь
2ОАО «Интеграл», ул. Корженевского, 12, 220108 Минск, Беларусь
Получена: 21.11.2013. Скачать: PDF
Золь—гель-методом синтезированы плёнки с общей формулой SrBi2Ta2O9 (SBT-плёнки). При формировании SBT-плёнок применялась методика послойного нанесения золя методом центрифугирования с последующей термообработкой каждого слоя при температуре 300°C в течение 5 минут. В качестве подложки использовали монокристаллический кремний с платиновым подслоем. Результаты рентгеновских исследований показывают, что при получении SBT-плёнок золь—гель-методом формирование фазы перовскита начинается при температуре 700°C и завершается в диапазоне 750—800°C. Исследование морфологии поверхности методом атомно-силовой микроскопии показало, что при термообработке в атмосфере кислорода при 750°C наблюдается более равномерное распределение зёрен по размерам. Полученная золь—гель-методом SBT-плёнка, отожжённая при температуре 750°C в течение 60 минут, имеет максимальный пик диэлектрической проницаемости на частоте 100 Гц при температуре Кюри TK = 300—370°C, что свидетельствует о сегнетоэлектрических переходах в парафазе.
Ключевые слова: SBT-плёнка, перовскит, сегнетоэлектрик, золь, термообработка, золь—гель-метод, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i09/1237.html
PACS: 68.37.Ps, 68.55.J-, 68.55.Nq, 77.55.fb, 81.20.Fw, 81.40.Ef, 81.40.Tv