Выпуски МФиНТ »  Том 37, выпуск 3

Дисперсионная (фазовая) природа структурной чувствительности и информативности трёхкристальной дифрактометрии дефектов и деформаций в ионно-имплантированных плёнках

Е. С. Скакунова, С. И. Олиховский, В. Б. Молодкин, Е. Г. Лень, Е. Н. Кисловский, О. В. Решетник, Т. П. Владимирова, Е. В. Кочелаб, В. В. Лизунов, С. В. Лизунова, В. Л. Маковская, Н. Г. Толмачёв, Л. Н. Скапа, Я. В. Василик, Е. В. Фузик

Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 36, 03142 Киев, Украина

Получена: 26.12.2014. Скачать: PDF

С использованием ранее открытого авторами явления дисперсионной (фазовой) структурной чувствительности картины многократного рассеяния созданы теоретические и экспериментальные основы трёхкристальной динамической дифрактометрии многослойных кристаллических систем с неоднородно распределёнными микродефектами и макродеформацией. Учтены динамический характер когерентного и диффузного рассеяния от дефектов во всех слоях системы, а также многократность рассеяния между слоями.

Ключевые слова: динамическая теория дифракции, диффузное рассеяние, профиль деформации, структурные дефекты, ионная имплантация, гранат.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v37/i03/0409.html

PACS: 61.05.cс, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.jd, 61.72.Nn, 61.72.Qq, 68.55.Ln

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. D. K. Bowen and B. K. Tanner, High Resolution X-Ray Diffractometry and Topography (London: Taylor and Francis Ltd: 1998).
  2. V. Holý, U. Pietch, and T. Baumbach, High-Resolution X-Ray Scattering from Thin Films and Multilayers (Berlin–Heidelberg: Springer: 1998).
  3. P. F. Fewster, X-Ray Scattering from Semiconductors (London: Imperial College Press: 2000).
  4. Diffuse Scattering and the Fundamental Properties of Materials (Eds. R. I. Barabash, G. E. Ice, and P. E. A. Turchi) (New Jersey: Momentum Press: 2009).
  5. M. Schmidbauer, X-Ray Diffuse Scattering from Self-Organized Mesoscopic Semiconductor Structures (Berlin–Heidelberg: Springer: 2010).
  6. А. М. Афанасьев, П. А. Александров, Р. М. Имамов, Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев (Москва: Наука: 1989).
  7. V. Holý and J. Kubĕna, phys. status solidi (b), 170, No. 1: 9 (1992). Crossref
  8. А. А. Lomov, P. Zaumseil, and U. Winter, Acta Crystallogr. A, 41, No. 3: 223 (1985). Crossref
  9. B. C. Larson and W. G. Schmatz, Phys. Rev. B, 10, No. 6: 2307 (1974). Crossref
  10. L. A. Charniy, A. N. Morozov, V. T. Bublik, K. D. Scherbachev, I. V. Stepantsova, and V. M. Kaganer, J. Cryst. Growth, 118: 163 (1992). Crossref
  11. V. B. Molodkin, M. V. Kovalchuk, A. P. Shpak, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy, A. I. Nizkova, E. G. Len, T. P. Vladimirova,
  12. E. S. Skakunova, G. E. Ice, R. A. Barabash, and I. M. Karnaukhov, Diffuse Scattering and the Fundamental Properties of Materials (Eds. R. I. Barabash, G. E. Ice, and P. E. A. Turchi) (New Jersey: Momentum Press: 2009), p. 391. Crossref
  13. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. G. Len, E. N. Kislovskii, V. P. Kladko, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, and B. V. Sheludchenko, phys. status solidi (а), 206, No. 8: 1761 (2009).
  14. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, Ye. M. Kyslovskyy, E. G. Len, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. V. Lizunov, and S. V. Lizunova, Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics, 13, No. 4: 353 (2010).
  15. С. В. Лизунова, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, Е. С. Скакунова, В. В. Молодкин, В. В. Лизунов, Металлофиз. новейшие технол., 33, № 6: 791 (2011).
  16. С. В. Лизунова, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, Е. С. Скакунова, В. В. Молодкин, В. В. Лизунов, Металлофиз. новейшие технол., 33, № 7: 855 (2011). Crossref
  17. В. Б. Молодкин, М. В. Ковальчук, В. Ф. Мачулин, Э. Х. Мухамеджанов, С. В. Лизунова, С. И. Олиховский, Е. Г. Лень, Б. В. Шелудченко, С. В. Дмитриев, Е. С. Скакунова, В. В. Молодкин, В. В. Лизунов, В. П. Кладько, Е. В. Первак, Успехи физики металлов, 12: 295 (2011). Crossref
  18. E. N. Kislovskii, V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. G. Len’, B. V. Sheludchenko, S. V. Lizunova, T. P. Vladimirova, E. V. Kochelab, O. V. Reshetnik, V. V. Dovganyuk, I. M. Fodchuk, T. V. Litvinchuk, and V. P. Klad’ko, J. of Surface Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 7, No. 3: 523 (2013). Crossref
  19. В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, С. В. Лизунова, Н. Г. Толмачев, Е. С. Скакунова, С. В. Дмитриев, Б. В. Шелудченко, С. М. Бровчук, Л. Н. Скапа, Р. В. Лехняк, Е. В. Фузик, Металлофиз. новейшие технол., 36, № 7: 857 (2014). Crossref
  20. В. В. Лизунов, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, С. В. Лизунова, Н. Г. Толмачев, А. И. Низкова, Е. С. Скакунова, С. В. Дмитриев, Б. В. Шелудченко, Т. Г. Сыч, Е. В. Фузик, Р. В. Лехняк, Л. Н. Скапа, Я. В. Василик, Металлофиз. новейшие технол., 37, № 2: 265 (2015). Crossref
  21. T. H. Johansen and D. V. Shantsev, Magneto-Optical Imaging (Dordrecht, Netherlands: Springer: 2004).21. S. Sugano and N. Kojima, Magneto-Optics (Berlin: Springer: 2000). Crossref
  22. R. J Gambino and T. Suzuki, Magneto-Optical Recording Materials (New York: IEEE Press: 1999). Crossref
  23. P. Paroli, Thin Solid Films, 114, Nos. 1–2: 187 (1984). Crossref
  24. A. K. Zvezdin and V. A. Kotov, Modern Magnetooptics and Magnetooptical Materials (Philadelphia: Inst. of Physics Publ.: 1997). Crossref
  25. T. Wehlus, T. Körner, S. Leitenmeier, A. Heinrich, and B. Stritzker, phys. status solidi (а), 208, No. 2: 252 (2011). Crossref
  26. Y. Yamasaki, Y. Kohara, and Y. Tokura, Phys. Rev. B, 80, No. 14: 140412(R) (2009). Crossref
  27. T. V. Dolgova, A. A. Fedyanin, O. A. Aktsipetrov, K. Nishimura, H. Uchida, and M. Inoue, J. Appl. Phys., 95, No. 11: 7330 (2004). Crossref
  28. G. F. Dionne and G. A. Allen, J. Appl. Phys., 95, No. 11: 7333 (2004). Crossref
  29. R. J. Wojciechowski, A. Lehmann-Szweykowska, R. Micnas, G. A. Gehring, and P. E. Wigen, Phys. Rev. B, 69, No. 21: 214434 (2004). Crossref
  30. P. Baettig and T. Oguchi, Chem. Mater., 20, No. 24: 7545 (2008). Crossref
  31. Y.-N. Xu, Z. Gu, and W. Y. Ching, J. Appl. Phys., 87, No. 9: 4867 (2000). Crossref
  32. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, E. G. Len’, and E. V. Pervak, phys. status solidi (b), 227, No. 2: 429 (2001). Crossref
  33. S. I. Olikhovskii, V. B. Molodkin, E. N. Kislovskii, E. G. Len’, and E. V. Pervak, phys. status solidi (b), 231, No. 1: 199 (2002). Crossref
  34. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, I. M. Fodchuk, E. S. Skakunova, E. V. Pervak, and V. V. Molodkin, phys. status solidi (а), 204, No. 8: 2606 (2007). Crossref
  35. V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, T. P. Vladimirova, E. S. Skakunova, R. F. Seredenko, and B. V. Sheludchenko, Phys. Rev. B, 78, No. 22: 224109 (2008). Crossref
  36. S. I. Olikhovskii, V. B. Molodkin, E. S. Skakunova, E. N. Kislovskii, and I. M. Fodchuk, phys. status solidi (а), 206, No. 8: 1790 (2009). Crossref
  37. В. Б. Молодкин, М. В. Ковальчук, И. М. Карнаухов, В. Ф. Мачулин, В. Е. Сторижко, Э. Х. Мухамеджанов, А. И. Низкова, С. В. Лизунова, Е. Н. Кисловский, С. И. Олиховский, Б. В. Шелудченко, С. В. Дмитриев, Е. С. Скакунова, В. В. Молодкин, В. В. Лизунов, В. А. Бушуев, Р. Н. Кютт, Б. С. Карамурзов, А. А. Дышеков, Т. И. Оранова, Ю. П. Хапачев, Основы динамической высокоразрешающей дифрактометрии функциональных материалов (Нальчик: Кабардино-Балкарский Университет: 2013).
  38. В. Б. Молодкин, М. В. Ковальчук, И. М. Карнаухов, В. Е. Сторижко, С. В. Лизунова, С. В. Дмитриев, А. И. Низкова, Е. Н. Кисловский, В. В. Молодкин, Е. В. Первак, А. А. Катасонов, В. В. Лизунов, Е. С. Скакунова, Б. С. Карамурзов, А. А. Дышеков, А. Н. Багов, Т. И. Оранова, Ю. П. Хапачев, Основы интегральной многопараметрической диффузнодинамической дифрактометрии (Нальчик: Кабардино-Балкарский Университет: 2013).
  39. В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, М. Е. Осиновский, В. В. Кочелаб, А. Ю. Казимиров, М. В. Ковальчук, Ф. Н. Чуховский, Металлофизика, 6, № 3: 7 (1984).
  40. V. B. Molodkin, V. V. Nemoshkalenko, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, O. V. Reshetnyk, T. P. Vladimirova, V. P. Krivitsky, V. F. Machulin, I. V. Prokopenko, G. E. Ice, and B. C. Larson, Металлофиз. новейшие технол., 20, № 11: 29 (1998).
  41. С. Й. Оліховський, В. Б. Молодкін, Є. М. Кисловський, О. В. Решетник, Т. П. Владімірова, Є. Г. Лень, Дж. Е. Айс, Р. О. Барабаш, Р. Келер, Д. О. Григор’єв, Металлофиз. новейшие технол., 27, № 7: 949 (2005).
  42. А. П. Шпак, В. Б. Молодкін, С. Й. Оліховський, Є. М. Кисловський, О. В. Решетник, Т. П. Владімірова, Р. I. Барабаш, Д. О. Григор’єв, Металлофиз. новейшие технол., 27, № 9: 1223 (2005).
  43. М. А. Кривоглаз, Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев: Наукова думка: 1983).
  44. И. М. Фодчук, В. В. Довганюк, И. И. Гуцуляк, И. П. Яремий, А. А. Бончик, Г. В. Савицкий, И. М. Cыворотка, Е. С. Скакунова, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 9: 1209 (2013).
  45. И. М. Фодчук, И. И. Гуцуляк, Р. А. Заплитный, И. П. Яремий, А. Ю. Бончик, И. И. Сыворотка, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 7: 993 (2013).
  46. P. Zaumseil and U. Winter, phys. status solidi (а), 70, No. 2: 497 (1982). Crossref
  47. R. A. Cowley, Acta Crystallogr. A, 43, No. 6: 825 (1987). Crossref
  48. E. L. Garstein, M. Mandelbrot, and D. Mogilyanski, J. Phys. D.: Appl. Phys., 31, No. 1: A57 (2001). Crossref
  49. P. Zaumseil, phys. status solidi (а), 91, No. 1: K31 (1985). Crossref

© 2013–2017 «ИМФ НАН Украины»