Исследование плазмонных плёночных наноструктур золота методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии
А. И. Гудыменко, С. Б. Кривой, Г. В. Станчу, В. П. Кладько, Н. В. Сафрюк, Н. В. Слободян
Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарьова НАН Украины, просп. Науки, 41, 03028 Киев, Украина
Получена: 07.05.2015. Скачать: PDF
Методами рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии исследовались плёнки Au и por-Au, полученные методом импульсного лазерного осаждения. Определены их основные структурные параметры: плотность (пористость), толщина, шероховатость. Показано, что дополнительные измерения параметра решётки плёнок золота позволяют более корректно определить величину их пористости.
Ключевые слова: рентгеновская рефлектометрия и дифрактометрия, толщина нанокомпозитных плёнок, пористость, наночастицы золота.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v37/i09/1215.html
PACS: 61.05.cm, 61.05.cp, 61.43.Gt, 73.20.Mf, 78.67.Rb, 81.15.Fg, 81.16.Mk