Покрытия на стали У10А, полученные из трёхкомпонентных насыщающих смесей с участием Ti, V, Cr, с максимальной микротвёрдостью и толщиной, оптимизированные методом симплексных решёток Шеффе, были исследованы методом мягкой рентгеновской спектроскопии. Исследовано межатомное взаимодействие по толщине покрытий типа TiC и (Ti,V,Cr)С на стали У10А. Показано, что максимальное количество углерода в покрытиях типа TiC и (Ti,V,Cr)С находится соответственно во внешних и центральных зонах. Снижение количества углерода в покрытии (Ti,V,Cr)С, в сравнении с покрытием TiC, находит отображение в существенном сужении TiL$_{\alpha}$-полос в области энергий $spd$-гибридных связей. Взаимодействие титана и железа в центральных и внутренних зонах карбидного слоя отображается в TiL$_{\alpha}$-полосах. Кроме того, небольшие различия в положениях длинноволнового контура CK$_{\alpha}$-полос от поверхности и внутренней зоны покрытия (Ti,V,Cr)C связаны с небольшим уменьшением содержания углерода в этой зоне по сравнению с поверхностью. При этом следует отметить, что содержание углерода во внутренних зонах покрытия (Ti,V,Cr)С по сравнению с поверхностной и центральной зонами, как и для покрытия TiC, оказывается минимальным. В центральных и внутренних зонах покрытий формируются связи Ti—Fe—С, что проявляется в прифермиевском наплыве TiL$_{\alpha}$- и CK$_{\alpha}$-полос. Эти эффекты проявляют себя даже в случае сведения всех CK$_{\alpha}$-полос в одинаковой интенсивности. При переходе к центральным и внутренним зонам карбидного покрытия установлено увеличение интенсивности CK$_{\alpha}$-полос в прифермиевской области, что приводит к их расширению до 0,6 эВ. Установлено, что изменение микротвёрдости, микрохрупкости по толщине покрытий хорошо согласуется с уровнем межатомного взаимодействия в разных зонах карбидных фаз.