Покриття на сталі У10А, одержані з трикомпонентних насичувальних сумішей за участю Ti, V, Cr, з максимальною мікротвердістю і товщиною, які були оптимізовані методом симплексних ґратниць Шеффе, було досліджено методом м’якої рентґенівської спектроскопії. Досліджено міжатомову взаємодію по товщині покриттів типу TiС і (Ti,V,Сr)C на сталі У10А . Показано, що максимальна кількість вуглецю в покриттях типу TiС і (Тi,V,Сr)C знаходиться відповідно в зовнішніх і центральних зонах. Зниження кількости вуглецю в покритті (Тi,V,Сr)С, в порівнянні з покриттям TiС, знаходить відображення в істотному звуженні TiL$_{\alpha}$-смуг в області енергій $spd$-гібридних зв’язків. Взаємодія титану і заліза в центральних і внутрішніх зонах карбідного шару відображається в TiL$_{\alpha}$-смугах. Крім того, невеликі відмінності в положеннях довгохвильового контуру CK$_{\alpha}$-смуг від поверхні і внутрішньої зони покриття (Ti,V,Сr)C пов’язані з невеликим зменшенням вмісту вуглецю в цій зоні в порівнянні з поверхнею. При цьому слід зазначити, що вміст вуглецю у внутрішніх зонах покриття (Ti,V,Сr)С у порівнянні з поверхневою і центральною зонами, як і для покриття TiС, виявляється мінімальним. У центральних і внутрішніх зонах покриттів формуються зв’язки Тi—Fe—С, що проявляється в приферміївському напливі TiL$_{\alpha}$- і CK$_{\alpha}$-смуг. Ці ефекти проявляють себе навіть в разі зведення всіх CK$_{\alpha}$-смуг в однаковій інтенсивності. При переході до центральних і внутрішніх зон карбідного покриття встановлено збільшення інтенсивності CK$_{\alpha}$-смуг в приферміївській області, що приводить до їх розширення до 0,6 еВ. Встановлено, що зміна мікротвердости, мікрокрихкости по товщині покриттів добре узгоджується з рівнем міжатомової взаємодії в різних зонах карбідних фаз.