Изменения в структуре многослойных плёночных нанокомпозиций Sb/B$_{4}$C при нагреве до 360°C

И. А. Копылец, Е. Н. Зубарев, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова

Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Кирпичёва, 21, 61002 Харьков, Украина

Получена: 16.05.2016. Скачать: PDF

Изготовлена и исследована многослойная периодическая композиция Sb/B$_{4}$C с аморфными слоями сурьмы толщиной 2,59 нм и слоями B$_{4}$C толщиной 1,81 нм, которая является перспективным покрытием для рентгеновской оптики. С помощью рентгеновской дифрактометрии и электронной микроскопии изучены изменения в структуре этой композиции при нагревании до 360°C. Установлено, что тонкие слои Sb в многослойной композиции Sb/B$_{4}$C остаются в аморфном состоянии до 250°C. При температуре 290°C происходит кристаллизация слоёв сурьмы. Это приводит к увеличению плотности слоёв сурьмы и уменьшению периода многослойной композиции на 13,8%. Кристаллизация сурьмы сопровождается образованием сурьмяных линз, которые искажают и разрушают многослойное покрытие.

Ключевые слова: сурьма, карбид бора, аморфное состояние, многослойная композиция, нанослои, рентгеновская дифракция.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i07/0911.html

PACS: 07.85.Fv, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Ct, 68.55.J-, 68.60.Dv, 68.65.Ac


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. Е. А. Вишняков, М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, С. А. Старцев, Квантовая электроника, 41, № 1: 75 (2011). Crossref
  2. I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko, E. N. Zubarev, D. L. Voronov, E. M. Gullikson, E. A. Vishnyakov, and E. N. Ragozin, Appl. Surf. Sci., 307: 360 (2014). Crossref
  3. M. Barthelmess and S. Bajt, Appl. Opt., 50: 1610 (2011). Crossref
  4. Y. Platonov, J. Rodriguez, M. Kriese, E. Gullikson, T. Harada, T. Watanabe, and H. Kinoshita, Proc. SPIE, 8076: 80760N (2011). Crossref
  5. Е. А. Вишняков, Д. Л. Воронов, E. M. Gullikson, В. В. Кондратенко, И. А. Копылец, М. С. Лугинин, А. С. Пирожков, Е. Н. Рагозин, А. Н. Шатохин, Квантовая электроника, 43, № 7: 666 (2013). Crossref
  6. Source: http://sci-progs.com/
  7. Van Nostrand’s Scientific Encyclopedia. 10th ed. (Ed. Glenn D. Considine) (New York: John Wiley & Sons: 2008), vol. 1.
  8. H. Okamoto, J. Phase Equilibria, 12, No. 3: 391 (1991). Crossref
  9. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник (Ред. Н. П. Лякишев) (Москва: Машиностроение: 1996), т. 1.
  10. R. Wang, Bulletin of Alloy Phase Diagrams, 1, Iss. 1: 23 (1980). Crossref