Зміни у структурі багатошарових плівкових нанокомпозицій Sb/B$_{4}$C при нагріві до 360°C
І. А. Копилець, Є. М. Зубарєв, В. В. Кондратенко, В. А. Севрюкова
Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна
Отримано: 16.05.2016. Завантажити: PDF
Виготовлено та досліджено багатошарову періодичну композицію Sb/B$_{4}$C з аморфними шарами сурми товщиною у 2,59 нм і шарами B$_{4}$C товщиною у 1,81 нм, яка є перспективним покриттям для рентґенівської оптики. За допомогою рентґенівської дифрактометрії та електронної мікроскопії вивчено зміни у структурі цієї композиції при нагріванні до 360°C. Встановлено, що тонкі шари Sb у багатошаровій композиції Sb/B$_{4}$C залишаються в аморфному стані до 250°C. За температури 290°C відбувається кристалізація шарів сурми. Це приводить до збільшення густини шарів сурми і зменшення періоду багатошарової композиції на 13,8%. Кристалізація сурми супроводжується утворенням сурм’яних лінз, які викривлюють і руйнують багатошарове покриття.
Ключові слова: сурма, карбід бору, аморфний стан, багатошарова композиція, наношари, рентґенівська дифракція.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v38/i07/0911.html
PACS: 07.85.Fv, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Ct, 68.55.J-, 68.60.Dv, 68.65.Ac