Эффект снижения порога перколяции в сверхтонких плёнках серебра при квазиравновесной конденсации и воздействии плазмы на ростовую поверхность

Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов, И. В. Загайко.

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40000 Сумы, Украина

Получена: 08.07.2016. Скачать: PDF

Изучены закономерности структурообразования сверхтонких плёнок серебра на сколах KCl, а также сколах KCl, покрытых полимером PC403 или ma-N405. Обнаружен эффект, эквивалентный снижению порога перколяции. Он является следствием использования методики осаждения, при которой на поверхность подложки непосредственно воздействует низкотемпературная плазма и пары конденсируются в условиях, близких к термодинамическому равновесию. На основании изучения конденсатов в ПЭМ и при помощи дифракции электронов установлено, что зарождение плёнки происходит в виде сверхтонкого сплошного аморфного слоя, а по мере дальнейшего наращивания конденсата наблюдается постепенный переход в кристаллическое состояние или зарождение и рост несвязанных друг с другом объёмных кристаллов.

Ключевые слова: плёнки серебра, перколяция, нуклеация, аморфная фаза, магнетронное распыление, плазма.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i08/1103.html

PACS: 61.72.Ff, 64.60.ah, 68.37.Lp, 68.43.Mn, 68.47.De, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.15.Cd


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. J. van Deelen, A. Illiberi, A. Hovestad, I. Barbu, and L. Klerk, Proc. of SPIE, 8470: 84700P (2012). Crossref
  2. N. Ahmad, J. Stokes, N. A. Fox, M. Teng, and M. J. Cryan, Nano Energy, 1, No. 1: 777 (2012). Crossref
  3. P. Berini, Adv. Optics and Photonics, 1, No. 3: 484 (2009). Crossref
  4. M. Volmer and A. Weber, Z. Physik. Chem., 119: 277 (1926).
  5. X. Yu, P. M. Duxbury, G. Jeffers, and M. A. Dubson, Phys. Rev. B, 44, No. 23: 13163(R) (1991). Crossref
  6. G. B. Smith, A. I. Maaroof, and M. B. Cortie, Phys. Rev. B, 78, No. 16: 165418 (2008). Crossref
  7. В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко, А. В. Павлов, Физ. мет. металловед., 88, № 5: 72 (1999).
  8. Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and A. A. Mokrenko, J. Porous Mat., 20, No. 4: 967 (2013). Crossref
  9. Г. К. Венер, Дж. С. Андерсон, Технология тонких плёнок: Справочник (Ред. Л. Майссел, Р. Гленг) (Москва: Советское радио: 1977), т. 1, c. 353.
  10. Б. С. Данилин, Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких плёнок (Москва: Энергоатомиздат: 1989).
  11. А. А. Мокренко, Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов, Журнал нано- та електронної фізики, 2, № 3: 40 (2010).
  12. А. А. Чернов, Современная кристаллография (Ред. Б. К. Вайнштейн, А. А. Чернов, Л. А. Шувалов) (Москва: Наука: 1980), т. 3, с. 7.
  13. Р. Гленг, Технология тонких плёнок: Справочник (Ред. Л. Майссел, Р. Гленг) (Москва: Советское радио: 1977), т. 1, c. 9.
  14. K. S. Sree Harsha, Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films (Oxford: Elsevier: 2006).
  15. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. A. Mokrenko, I. N. Kononenko, and A. S. Kornyushchenko, Vacuum, 86, No. 1: 111 (2011). Crossref
  16. V. I. Perekrestov, A. I. Olemskoi, Yu. O. Kosminska, and A. A. Mokrenko, Phys. Lett. A, 373, No. 37: 3386 (2009). Crossref
  17. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, В. Б. Дешин, Металлофиз. новейшие технол., 34, № 2: 239 (2012).
  18. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, Physica B, 411: 140 (2013). Crossref
  19. A. S. Kornyushchenko, V. V. Natalich, and V. I. Perekrestov, J. Cryst. Growth, 442: 68 (2016). Crossref
  20. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, V. Latyshev, St. Ostendorp, and G. Wilde, phys. status solidi (b), 252: 397 (2015). Crossref
  21. V. I. Perekrestov, Yu. O. Kosminska, A. S. Kornyushchenko, and V. M. Latyshev, J. Porous Mat., 21, No. 6: 1159 (2014). Crossref
  22. V. Perekrestov, Yu. Kosminska, A. Mokrenko, and T. Davydenko, Appl. Surf. Sci., 298: 171 (2014). Crossref
  23. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and V. V. Natalich, Solid State Sci., 33: 12 (2014). Crossref
  24. V. Perekrestov, A. Kornyushchenko, Yu. Kosminska, G. Wilde, S. Ostendorp, and N. Winkler, Appl. Surf. Sci., 316: 155 (2014). Crossref
  25. V. I. Perekrestov, A. A. Mokrenko, Yu. A. Kosminskaya, and D. I. Rubets, J. Surf. Invest. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techn., 5, No. 4: 667 (2011). Crossref
  26. А. А. Мокренко, Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов, Журнал нано- та електронної фізики, 3, № 2: 105 (2011).
  27. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Phys. Solid State, 50, No. 7: 1357 (2008). Crossref
  28. V. I. Perekrestov, A. S. Kornyushchenko, and Yu. A. Kosminskaya, Tech. Phys., 53, No. 10: 1364 (2008). Crossref
  29. В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская, Б. В. Дешин, Вісник СумДУ. Сер. Фізика, математика, механіка, № 1: 43 (2008).
  30. В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко, Приборы и техника эксперимента, 45, № 3: 123 (2002).