Выпуски МФиНТ »  Том 38, выпуск 9

Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений

А. Д. Погребняк, А. А. Гончаров

Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40000 Сумы, Украина

Получена: 11.03.2016; окончательный вариант - 10.08.2016. Скачать: PDF

Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий, состоящие в наличии столбчатой структуры и текстуры роста. Показано, что для карбидных и нитридных покрытий переходных металлов имеют место два возможных направления роста <111> и <100>, для диборидов переходных металлов таковым является <0001>. Проведён анализ влияния структурного состояния на изменение физико-механических характеристик нанокристаллических покрытий на основе нитридов, боридов и карбидов переходных металлов.

Ключевые слова: тугоплавкие соединения, структура, твёрдость, потенциал подложки, парциальное давление.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i09/1145.html

PACS: 62.20.Qp, 68.35.Gy, 68.55.J-, 68.55.Nq, 68.60.Bs, 81.05.Je, 81.15.Cd, 81.65.Lp

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. А. Д. Погребняк, А. П. Шпак, Н. А. Азаренков, В. М. Береснев, Успехи физических наук, № 1: 35 (2009). Crossref
  2. R. A. Andrievski, G. V. Kalinnikov, J. Jauberteau, and J. Bates, J. Mater. Sci., 35: 2799 (2000). Crossref
  3. Р. А. Андриевский, П. И. Спивак, Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе: Справочник (Челябинск: Металлургия: 1989).
  4. A. A. Goncharov, Phys. Met. Metallogr., 111, No. 3: 314 (2011). Crossref
  5. А. Д. Погребняк, А. А. Багдасарян, И. В. Якущенко, В. М. Береснев, Успехи химии, 83, № 11: 1027 (2014). Crossref
  6. U. C. Oh, J. H. Je, and J. Y. Lee, J. Mater. Res., 10, No. 3: 634 (1995). Crossref
  7. H. H. Yang, J. H. Je, and K.-B. Lee, J. Mater. Sci. Lett., No. 14: 1635 (1995). Crossref
  8. M. Leoni, P. Scandi, S. Rossi, L. Fedrizzi, and Y. Massiani, Thin Solid Films, 345: 263 (1999). Crossref
  9. В. В. Кунченко, А. А. Андреев, Ю. В. Кунченко, Г. Н. Картмазов, Вопросы атомной науки и техники, № 3: 87 (2004).
  10. V. Valdova, J. Alloys Compd., 219, Nos. 1–2: 83 (1995). Crossref
  11. J. Musil, P. Banoch, and P. Zeman, Plasma Surface Engineering and Its Practical Applications (USA: Research Signpost Publisher: 2007).
  12. E. Penilla and J. Wang, J. Nanomater., 2008: 267161 (2008). Crossref
  13. G. Abadias, Surf. Coat. Technol., 202: 2223 (2008). Crossref
  14. P. Patsalas, C. Gravalidis, and S. Logothetidis, J. Appl. Phys., 96: 6234 (2004). Crossref
  15. D. Gall, S. Kodambaka, M. A. Wall, I. Petrov, and J. E. Greene, J. Appl. Phys., 93: 9086 (2003). Crossref
  16. L. Hultman, J. E. Sundgren, J. E. Greene, D. B. Bergstrom, and I. Petrov, J. Appl. Phys., 78: 5395 (1995). Crossref
  17. P. Panich, S. Wangyao, and P. Hannongbua, Rev. Adv. Mater. Sci., No. 13: 117 (2006).
  18. J.-E. Surdgren, Thin Solid Films, 128: 21 (1985). Crossref
  19. А. А. Козьма, С. В. Малыхин, О. В. Соболь, Физ. мет. металловед., 87, № 3: 30 (1999).
  20. V. Braic, M. Braic, G. Balaceanu, A. Pavelescu, and A. Vladescu, Rom. Rep. Phys., 55, No. 3: 275 (2003).
  21. R. S. Rawat, P. Lee, T. White, and S. Lee, 27th European Physical Society Conference on Controlled Fusion and Plasma (Budapest: 2000), vol. 24B, p. 484.
  22. O. Wilhelmsson, ACTA Universitatis Upsaliensis (Digital Comprehensive Summaries of Uppsala Dissertations from the Faculty of Science and Technology 353) (Uppsala: 2007).
  23. Z. G. Li, M. Mori, S. Miyake, M. Kumagai, H. Saito, and Y. Muramatesu, Surf. Coat. Technol., 193: 345 (2005). Crossref
  24. H. Zeman, J. Musil, and P. Zeman, J. Vac. Sci. Technol. A, 22, No. 3: 646 (2004). Crossref
  25. J. Suna, J. Musil, V. Ondok, and J. H. Han, Surf. Coat. Technol., 200, Iss. 22–23: 6293 (2006). Crossref
  26. M. Nose, Y. Deguchi, T. Mae, E. Honbo, T. Nagae, and K. Nogi, Surf. Coat. Technol., 174–175: 261 (2003). Crossref
  27. X. D. Zhang, W. J. Meng, W. Wang, L. E. Rehn, P. M. Baldo, and R. D. Evans, Surf. Sci. Technol., 177–178: 325 (2004). Crossref
  28. J. Musil, R. Daniel, J. Soldan, and P. Zeman, Surf. Coat. Technol., 200, Iss. 12–13: 3886 (2006). Crossref
  29. O. V. Sobol, A. D. Pogrebnyak, and V. M. Beresnev, Phys. Met. Metallogr., 112, No. 2: 188 (2011). Crossref
  30. А. Д. Погребняк, М. В. Каверин, В. М. Береснев, Журнал технической физики, 84, № 1: 86 (2014). Crossref
  31. A. D. Pogrebnjak, A. Pshyk, V. M. Beresnev, and B. R. Zhollybekov, J. Frict. Wear, 35, No. 1: 55 (2014). Crossref
  32. V. Ivashchenko, S. Veprek, A. D. Pogrebnjak, and B. Postolnyi, Sci. Technol. Adv. Mater., 15, No. 2: 025007 (2014). Crossref
  33. A. D. Pogrebnjak, I. V. Yakushchenko, A. A. Bagdasaryana, O. V. Bondar, R. Krause-Rehberg, G. Abadias, P. Chartier, K. Oyoshi, Y. Takeda, V. M. Beresnev, and O. V. Sobol, Mater. Chem. Phys., 147, No. 3: 1079 (2014). Crossref
  34. А. А. Гончаров, Г. К. Волкова, В. А. Коновалов, В. В. Петухов, Металлофиз. новейшие технол., 28, № 12: 1621 (2006).
  35. А. А. Гончаров, В. А. Коновалов, В. А. Ступак, Письма в ЖТФ, 33, № 5: 12 (2007).
  36. А. А. Гончаров, В. В. Петухов, Д. Н. Терпий, П. И. Игнатенко, В. А. Ступак, Неорганические материалы, 41, № 7: 799 (2005).
  37. А. А. Гончаров, В. В. Петухов, Д. С. Чайка, Физ. мет. металловед., 100, № 3: 26 (2005).
  38. K. L. Dahm, L. R. Jordan, J. Haase, and P. A. Dearnley, Surf. Coat. Tech., 108–109: 413 (1998). Crossref
  39. E. Kelesoglu and C. Mitterer, Surf. Coat. Technol., 98: 1483 (1998). Crossref
  40. A. A. Goncharov, Phys. Solid State, 50, No. 1: 168 (2008). Crossref
  41. Д. В. Штанский, С. А. Кулинич, Е. А. Левашов, J. J. Moore, Физика твёрдого тела, 45, № 6: 1122 (2003).
  42. H. Holleck, J. Vac. Sci. Technol. A, 4, No. 6: 2661 (1986). Crossref
  43. F. Kunc, J. Musil, P. H. Mayrhofer, and C. Mitterer, Surf. Coat. Technol., 175: 744 (2003). Crossref
  44. Р. А. Андриевский, Г. В. Калинников, Н. П. Коблев, Я. М. Сойфер, Д. В. Штанский, Физика твёрдого тела, 39, № 10: 1859 (1997).
  45. Р. А. Андриевский, Г. В. Калинников, Д. В. Штанский, Физика твёрдого тела, 42, № 4: 741 (2000).
  46. Г. В. Самсонов, И. М. Виницкий, Тугоплавкие соединения: Справочник (Москва: Металлургия: 1976).
  47. Д. В. Штанский Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, А. Н. Шевейко, И. А. Башкова, О. В. Малочкин, Е. А. Левашов, Н. Б. Дьяконова, И. В. Лясоцкий, Физика твёрдого тела, 47: 242 (2005).
  48. A. A. Goncharov, V. V. Petukhov, S. N. Dub, and V. A. Konovalov, Phys. Metals Metallogr., 105, Iss. 4: 362 (2008). Crossref
  49. О. В. Соболь, С. Н. Дуб, О. Н. Григорьев, А. Н. Стеценко, А. А. Подтележников, Сверхтвёрдые материалы, № 5: 38 (2005).
  50. О. В. Соболь, Физика твёрдого тела, 49, № 6: 1104 (2007).
  51. A. A. Goncharov, S. N. Dub, A. V. Agulov, and V. V. Petukhov, J. Superhard Mater., 37, No. 6: 422 (2015). Crossref
  52. A. I. Bazhin, A. A. Goncharov, A. D. Pogrebnyak, V. A. Stupak, and S. A. Goncharova, Phys. Metals Metallogr., 117, Iss. 6: 594 (2016). Crossref

© 2013–2017 «ИМФ НАН Украины»