Рост сквозных пор и термическое диспергирование сплошных поликристаллических плёнок меди

С. И. Петрушенко, С. В. Дукаров, В. Н. Сухов

Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, пл. Свободы, 4, 61022 Харьков, Украина

Получена: 16.08.2016. Скачать: PDF

Приводятся результаты исследований распада сплошных поликристаллических плёнок меди на островки под действием нагрева. Установлено, что предварительный отжиг плёнок при температуре 150°C повышает их термическую стабильность. Наблюдаемый эффект объясняется изменением микроструктуры плёнок в процессе их отжига. С помощью электронно-микроскопических исследований кинетики роста сквозных пор при нагреве определена энергия активации поверхностной самодиффузии в плёнках меди.

Ключевые слова: термическая стабильность, энергия активации, поверхностная самодиффузия, тонкие плёнки меди.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i10/1351.html

PACS: 61.43.Gt, 66.30.Fq, 66.30.Pa, 68.35.Dv, 68.55.J-, 68.60.Dv, 72.10.Fk, 73.61.At

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

S. I. Bogatyrenko, N. T. Gladkikh, A. P. Kryshtal’, A. L. Samsonik, and V. N. Sukhov, Physics of Metals and Metallography, 109, Iss. 3: 255 (2010). Crossref
A. A. Minenkov, S. I. Bogatyrenko, R. V. Sukhov, and A. P. Kryshtal, Phys. Solid State, 56, No. 4: 823 (2014). Crossref
S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and O. I. Skryl, Functional Materials, 23, No. 2: 218 (2016). Crossref
Р. И. Бигун, М. Д. Бучковская, В. М. Гаврилюх, О. Е. Кравченко, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Металлофиз. новейшие технол.,36, № 4: 531 (2014). Crossref
Р. И. Бигун, А. Е. Кравченко, Д. С. Леонов, Я. А. Пастырский, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 5: 603 (2013).
J. Langer, S. M. Novikov, and L. M. Liz-Marzán, Nanotechnology, 26 (32): 322001 (2015). Crossref
J. Varghese, R. W. Whatmore, and J. D. Holmes, J. Mater. Chem. C, 1: 2618 (2013). Crossref
Shankar B. Dalavi and Rabi N. Panda, J. Magn. Magn. Mater., 374: 411 (2015). Crossref
Н. Т. Гладких, А. П. Крышталь, Р. В. Сухов, Л. Н. Чепурная, Вопросы атомной науки и техники, № 4–2: 293 (2009).
А. П. Крыштал, А. А. Миненков, С. С. Джус, Журнал нано- и электронной физики, 7, № 1: 01024 (2015).
Н. Т. Гладких, С. В. Дукаров, В. Н. Сухов, Физика металлов и металловедение, 78 (3): 87 (1994).
Н. Т. Гладких, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, В. И. Ларин. Физика металлов и металловедение, 85 (5): 51 (1998).
В. А. Зленко, М. Г. Демиденко, С. И. Проценко, А. В. Боюн, А. А. Возный, Журнал нано- и электронной физики, 4, № 4: 04023 (2012).
С. И. Петрушенко, С. В. Дукаров, В. Н. Сухов, И. Г. Чурилов, Журнал нано- и электронной физики, 7, № 2: 02033 (2015).
N. T. Gladkikh, S. V. Dukarov, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Functional Materials, 18, No. 4: 529 (2011).
S. V. Dukarov, Thin Solid Films, 323, No. 1–2: 136 (1998). Crossref
S. I. Petrushenko, S. V. Dukarov, and V. N. Sukhov, Vacuum, 122 (A): 208 (2015). Crossref
С. И. Петрушенко, С. В. Дукаров, В. Н. Сухов, Вопросы атомной науки и техники, 104: № 4: 118 (2016).
N. Liu, M. Mesch, T. Weiss, M. Hentschel, and H. Giessen Nano Lett., 10 (7): 2342 (2010). Crossref
S. Zhang, W. Fan, K. J. Malloy, S. R. J. Brueck, N. C. Panoiu, and R. M. Osgood, J. Opt. Soc. Am. B, 23: 434 (2006). Crossref
H. Y. Liu, G. S. Tang, F. Zeng, and F. Pan, J. Crystal Growth, 363: 80 (2013). Crossref
Н. Т. Гладких, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, В. И. Ларин, В. Н. Сухов, С. И. Богатыренко, Поверхностные явления и фазовые превращения в конденсированных пленках (Харьков: ХНУ им. В. Н. Каразина: 2004).
S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Problems Atomic Sci. Technol., 89, No. 1: 110 (2014).
Л. С. Палатник, П. Г. Черемской, М. Я. Фукс, Поры в плёнках (Москва: Энергоатомиздат: 1982).
D. G. Gromov, S. A. Gavrilov, E. N. Redichev, and R. M. Ammosov, Phys. Solid State, 49 (1): 178 (2007). Crossref
D. G. Gromov, O. V. Pyatilova, S. V. Bulyarskii, A. N. Belov, and A. A. Raskin, Phys. Solid State, 55 (3): 619 (2013). Crossref