Впервые плазмонная спектроскопия применена для анализа поверхности наноразмерных плёнок переходных металлов. Исследовались моно- и многослойные системы, полученные электронно-лучевым методом осаждения в сверхвысоком вакууме 10$^{-7}$ Па. Образцы облучались ионами Аr$^{+}$ с плотностью тока 5 мкА/см$^2$ и энергией 600 эВ при дозах 2$\cdot10^{17}$ и 12$\cdot10^{17}$ ион/см$^2$ и выдерживались в атмосфере атомарно чистого кислорода в течение 24 часов. Рассчитаны усреднённые значения энергии поверхностных ($E_{\textrm{s}}$) и объёмных ($E_{\textrm{b}}$) плазмонов и их отношение $E_{\textrm{b}}/E_{\textrm{s}}$, концентрация электронов проводимости, участвующих в плазменных колебаниях, а также относительное изменение межплоскостных расстояний. Низкоэнергетическое ионное воздействие существенно улучшает физико-химическое состояние поверхности образцов, поскольку $E_{\textrm{s}}$ увеличивается с ростом $E_{\textrm{b}}$. Выдержка в кислороде после ионной бомбардировки нивелирует изменения концентрации электронов проводимости и уменьшает проявление эффекта поверхностной релаксации в $\cong$ 6 раз.