Вперше плазмонну спектроскопію застосовано для аналізи поверхні нанорозмірних плівок перехідних металів. Досліджувалися моно- та багатошарові системи, одержані електронно-променевою методою осадження в надвисокому вакуумі у 10$^{-7}$ Па. Зразки опромінювалися йонами Аr$^{+}$ з густиною струму у 5 мкА/см$^2$ й енергією у 600 еВ за доз у 2$\cdot10^{17}$ і 12$\cdot10^{17}$ йон/см$^2$ та витримувалися в атмосфері атомарно чистого кисню впродовж 24 годин. Розраховано усереднені значення енергії поверхневих ($Е_{\textrm{s}}$) і об’ємних ($E_{\textrm{b}}$) плазмонів та їх відношення $E_{\textrm{b}}/Е_{\textrm{s}}$, концентрацію електронів провідности, що беруть участь у плазмових коливаннях, а також відносну зміну міжплощинної відстані. Низькоенергетичний йонний вплив істотно поліпшує фізико-хемічний стан поверхні зразків, оскільки $Е_{\textrm{s}}$ збільшується зі зростанням $E_{\textrm{b}}$. Витримка у кисні після йонного бомбардування нівелює зміни концентрації електронів провідности та зменшує прояв ефекту поверхневої релаксації до $\cong$ 6 разів.