Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме молибденовых наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы

Ю. В. Найдич$^{1}$, И. И. Габ$^{1}$, Т. В. Стецюк$^{1}$, Б. Д. Костюк$^{1}$, Д. Б. Шахнин$^{2}$

$^{1}$Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина
$^{2}$Открытый международный университет развития человека «Украина», ул. Львовская, 23, 03115 Киев, Украина

Получена: 04.04.2018. Скачать: PDF

Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига.

Ключевые слова: кинетика диспергирования, молибденовая наноплёнка, лейкосапфир, алюмооксидная керамика, кварцевое стекло.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v40/i10/1359.html

PACS: 68.35.-p, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 68.60.Dv, 81.20.Vj, 81.40.Ef


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. G. Elssner, W. Diem, and J. S. Wallace, 17th Univ. Conf. Ceram. ‘Surfaces and Interfaces Ceram. and Ceram.—Met. Syst.’ (Jul. 28–Aug. 1, 1980, Berkeley, CA) (New York–London: 1981).
  2. W. X. Pan, Т. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, Iss. 6: 1436 (1994). Crossref
  3. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and A. M. Glaeser, Scripta Metall. et Mater., 31, Iss. 8: 1043 (1994). Crossref
  4. M. Z.-C. Hu, R. D. Hunt, E. A. Payzant, and C. R. Hubbard, J. Am. Ceram. Soc., 82, Iss. 9: 2313 (1999). Crossref
  5. R. R. Piticescu, С. Monty, D. Taloi, A. Motoc, and S. Axinted, J. Eur. Ceram. Soc., 21, Iss. 10–11: 2057 (2001). Crossref
  6. Ю. В. Найдич, Контактные явления в металлических расплавах (Киев: Наукова думка: 1972).
  7. H. J. Kang, C. H. Kim, N. S. Park, and M. W. Kim, J. App. Surf. Sci., 100–101: 160 (1996). Crossref
  8. Е. В. Коганицкая, Электроника, № 4: 86 (1959).
  9. F. L. Harding and D. R. Rossington, J. Am. Ceram. Soc., 53, Iss. 2: 87 (1970). Crossref
  10. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, В. С. Журавлев, В. Ф. Дуброва, А. Н. Гордыня, Сварочное производство, № 2: 12 (1989).
  11. S. K. Rhee, J. Am. Ceram. Soc., 54, Iss. 7: 332 (1971). Crossref
  12. И. И. Метелкин, М. А. Павлова, Н. В. Поздеева, Сварка керамики с металлами (Москва: Металлургия: 1977).
  13. В. В. Мельников, С. В. Еремеев, С. Е. Кулькова, Журнал технической физики, 81, № 10: 114 (2011).
  14. Q. Tong, L. Cheng, and L. Zhang, J. Aviation Mater., 24, No. 1: 53 (2004)
  15. M. Naka, T. Saito, and I. Okamoto, Transaction of JWRI, 17, Iss. 2: 67 (1988).
  16. M. L. Shalz, B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, R. M. Cannon, and A. M. Glaeser, J. Mater. Sci., 29, Iss. 14: 3678 (1994). Crossref
  17. R. A. Marks, J. D. Sugar, and A. M. Glaeser, J. Mater. Sci., 36, Iss. 23: 5609 (2001). Crossref
  18. R. A. Marks, D. R. Chapman, D. T. Danielson, and A. M. Glaeser, Acta Mater., 48, Iss. 18–19: 4425 (2000). Crossref
  19. И. И. Габ, В. С. Журавлев, Д. И. Куркова, Т. В. Стецюк, Ю. В. Найдич, Порошковая металлургия, № 7/8: 69 (1997).
  20. Э. С. Каракозов, И. С. Котелкин, Г. Н. Матвеев, А. P. Меркулов, M. X. Шоршоров, Физика и химия обработки материалов, № 3: 123 (1968).
  21. В. Н. Батыгин, И. И. Метелкин, А. М. Решетников, Вакуумноплотная керамика и ее спаи с металлами (Москва: Энергия: 1982).
  22. В. Е. Хряпин, Справочник паяльщика (Москва: Машиностроение: 1981).
  23. А. В. Волков, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, Компьютерная оптика, 37, № 2: 220 (2013). Crossref
  24. S.-F. Wang, H.-Ch. Yang, Ch.-F. Liu, and H.-Yu. Y. Bor, Adv. Mater. Sci. Eng., 2014, Article ID 531401. Crossref
  25. А. В. Рогов, К. Ю. Вуколов, Журнал технической физики, 76, № 4: 109 (2006).
  26. С. Метфессель, Тонкие плёнки, их изготовление и измерение (Москва–Ленинград: Госэнергоиздат: 1963) (пер. з нім.).
  27. Физика тонких плёнок: Сборник (Ред. Г. Хаас, Р. Э. Тун) (Москва: Мир: 1968) (пер. з англ.).
  28. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Доповіді Національної академії наук України, № 5: 97 (2007).