Исследована кинетика диспергирования молибденовых наноплёнок толщиной 100 нм, нанесённых на подложки из лейкосапфира, алюмооксидной керамики, кварцевого стекла и отожжённых в вакууме при температурах 1200–1600°C в течение различного времени (от 2 до 20 мин) при каждом выбранном значении температуры. Óстановлено, что из молибденовых плёнок, нанесённых на оксидные материалы, наиболее стойкой при отжиге является плёнка на алюмооксидной керамике, а наименее стойкой — плёнка на кварцевом стекле, которая начинает интенсивно диспергироваться и взаимодействовать с поверхностью подложки уже при 1300°C. По результатам исследований построены кинетические кривые диспергирования плёнок в результате отжига.