Досліджено кінетику дисперґування молібденових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на підкладинки з лейкосапфіру, алюмооксидної кераміки, кварцового скла та відпалено у вакуумі за температур 1200–1600°C протягом різного часу (від 2 до 20 хв.) при кожному обраному значенні температури. Встановлено, що з молібденових плівок, нанесених на оксидні матеріяли, найбільш стійкою при відпалі є плівка на алюмооксидній кераміці, а найменш стійкою — пліавка на кварцовому склі, яка починає інтенсивно дисперґувати та взаємодіяти з поверхнею підкладинки вже за 1300°C. За результатами досліджень побудовано кінетичні криві дисперґування плівок в результаті відпалу.