Сканирующая акустическая микроскопия эффектов отжига алюминиевой тонкой плёнки, нанесённой на кремниевую подложку

Шафья Аталья, Ляхадар Дeбуб, Амар Будур, Юсеф Бумеіза

Badji Mokhtar University, B.P. 12, CP 23000 Annaba, Algeria

Получена: 11.12.2017; окончательный вариант - 17.09.2018. Скачать: PDF

Сканирующий акустический микроскоп (САМ) является мощным современным инструментом для исследования и определения механических свойств материалов, особенно непрозрачных. САМ позволяет проводить неразрушающие исследования материалов как вблизи их поверхности, так и на некотором расстоянии от неё вглубь образца. Работа посвящена изучению влияния отжига на механические свойства образцов, состоящих из слоя Al (10 мкм) на подложке из Si. Объединяя результаты, полученные на основании измерений так называемой акустической сигнатуры и акустических изображений интерфейса Al/Si с использованием поперечных и продольных волн (скоростей Рэлея), можно сделать вывод, что наилучшая гомогенная адгезия реализуется после отжига при 500°С.

Ключевые слова: неразрушающая диагностика, сканирующий акустический микроскоп, механические свойства, эффекты отжига, тонкие плёнки Al/Si.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v40/i10/1387.html

PACS: 46.40.Cd, 62.25.Jk, 62.30.+d, 68.37.Tj, 81.15.Gh, 81.40.Ef, 81.70.Cv


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. R. A. Lemons and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett., 24: 163 (1973). Crossref
  2. R. A. Lemons and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett., 25: 251 (1974). Crossref
  3. R. A. Lemons and C. F. Quate, Physical Acoustics, 14: 1 (1979). Crossref
  4. A. Briggs, Advances in Acoustic Microscopy (New-York: Plenum Press: 1995).
  5. J. I. Kushibild and N. Chubachi, IEEE Trans. Sonics Ultrason., SU-32: 189 (1985). Crossref
  6. J. D. Achenbach, J. O. Kim, and Y.-C. Lee, Advances in Acoustic Microscopy. Volume 1 (Ed. A. Briggs) (New York: Plenum Press: 1995), p. 153. Crossref
  7. R. J. M. da Fonseca, L. Ferdj-Allah, G. Despaux, A. Boudour, L. Robert, and J. Attal, Advanced Materials, 5, Nos. 7/8: 508 (1993). Crossref
  8. A. Atalar, H. Köymen, and L. Degertekin, IEEE Ultrasonic Symposium Proceedings (Piscataway, NJ, USA: EEE Service Center: 1990), p. 359. Crossref
  9. B. Cretin and F. Stahl, Appl. Phys. Lett., 62: 829 (1993). Crossref
  10. A. Atalar, H. Köymen, and F. L. Degerteidn, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., 39: 661 (1992). Crossref
  11. A. Boudour, Etude par Microacoustique des Différents Modes de Propagation Dans les Structures Monocouches et Multicouche (Thesis of Disser. … for Dr. Sci.) (Annaba: Université Badji Mokhtar Annaba: 2000) (in French).
  12. H. Lazri, E. Ogam, A. Boudour, Z. E. A. Fellah, A. Oduor, and P. Baki, Ultrasonics, 81: 10 (2017). Crossref
  13. A. Boudour, Y. Boumaiza, M. Guerioune, and S. Belkahla, phys. status solidi (a), 201, Iss. 1: 80 (2004). Crossref
  14. A. Boudour, S. Deboub, T. Tahraoui, M. Ramdani, and Y. Boumaiza, PICMS AMSE (MS’07 Algeria) (July 2–4, 2007) (Algiers: 2007).
  15. B. Cros, Rev. Met. Paris, 98, No. 2: 215 (2001). Crossref
  16. J. Attal, Scanned Image Microscopy (Ed. E. A. Ash) (New York: Academic Press: 1980), p. 97.
  17. J. Attal, C. Amaudric Du Chaffaut, K. Alami, H. Coelho-Mandes, and A. Saied, Electronics Letters, 25, No. 24: 1625 (1989). Crossref
  18. A. Doghmane, Z. Hadjoub, K. Alami, J. M. Saurel, and J. Attal, J. American Society of Acoustic, 92: 1545 (1992). Crossref
  19. C. J. R. Shepard and T. Wilson, Appl. Phys. Letters, 38: 858 (1981). Crossref
  20. L. M. Brekhovskikh and O. A. Godin, Acoustic of Layered Media I: Plane and Quasi-Plane Waves (Berlin: Springer-Verlag: 1990). Crossref