Сканирующий акустический микроскоп (САМ) является мощным современным инструментом для исследования и определения механических свойств материалов, особенно непрозрачных. САМ позволяет проводить неразрушающие исследования материалов как вблизи их поверхности, так и на некотором расстоянии от неё вглубь образца. Работа посвящена изучению влияния отжига на механические свойства образцов, состоящих из слоя Al (10 мкм) на подложке из Si. Объединяя результаты, полученные на основании измерений так называемой акустической сигнатуры и акустических изображений интерфейса Al/Si с использованием поперечных и продольных волн (скоростей Рэлея), можно сделать вывод, что наилучшая гомогенная адгезия реализуется после отжига при 500°С.