Випуски МФіНТ »  Том 40, випуск 10

Сканівна акустична мікроскопія ефектів відпалу алюмінійової тонкої плівки, нанесеної на кремнійове підложжя

Шафья Аталья, Ляхадар Дeбуб, Амар Будур, Юсеф Бумеіза

Badji Mokhtar University, B.P. 12, CP 23000 Annaba, Algeria

Отримано: 11.12.2017; остаточний варіант - 17.09.2018. Завантажити: PDF

Сканівний акустичний мікроскоп (САМ) є потужнім новим інструментом для дослідження та визначення механічних властивостей матеріялів, особливо непрозорих. САМ уможливлює проводити неруйнівні дослідження матеріялів як поблизу поверхні, так і на деякій віддалі від неї углиб зразка. Робота стосується вивчення впливу відпалу на механічні властивості зразків, що складаються з шару Al (10 мкм) на підложжі з Si. Поєднуючи результати, одержані з так званої акустичної сиґнатури й акустичних зображень інтерфейсу Al/Si з використанням поперечних і поздовжніх хвиль (Релейових швидкостей), можна зробити висновок, що найліпша гомогенна адгезія реалізується після відпалу за 500°С.

Ключові слова: неруйнівна діягностика, сканівний акустичний мікроскоп, механічні властивості, ефекти відпалу, тонкі плівки Al/Si.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v40/i10/1387.html

PACS: 46.40.Cd, 62.25.Jk, 62.30.+d, 68.37.Tj, 81.15.Gh, 81.40.Ef, 81.70.Cv

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. R. A. Lemons and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett., 24: 163 (1973). Crossref
  2. R. A. Lemons and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett., 25: 251 (1974). Crossref
  3. R. A. Lemons and C. F. Quate, Physical Acoustics, 14: 1 (1979). Crossref
  4. A. Briggs, Advances in Acoustic Microscopy (New-York: Plenum Press: 1995).
  5. J. I. Kushibild and N. Chubachi, IEEE Trans. Sonics Ultrason., SU-32: 189 (1985). Crossref
  6. J. D. Achenbach, J. O. Kim, and Y.-C. Lee, Advances in Acoustic Microscopy. Volume 1 (Ed. A. Briggs) (New York: Plenum Press: 1995), p. 153. Crossref
  7. R. J. M. da Fonseca, L. Ferdj-Allah, G. Despaux, A. Boudour, L. Robert, and J. Attal, Advanced Materials, 5, Nos. 7/8: 508 (1993). Crossref
  8. A. Atalar, H. Köymen, and L. Degertekin, IEEE Ultrasonic Symposium Proceedings (Piscataway, NJ, USA: EEE Service Center: 1990), p. 359. Crossref
  9. B. Cretin and F. Stahl, Appl. Phys. Lett., 62: 829 (1993). Crossref
  10. A. Atalar, H. Köymen, and F. L. Degerteidn, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr., 39: 661 (1992). Crossref
  11. A. Boudour, Etude par Microacoustique des Différents Modes de Propagation Dans les Structures Monocouches et Multicouche (Thesis of Disser. … for Dr. Sci.) (Annaba: Université Badji Mokhtar Annaba: 2000) (in French).
  12. H. Lazri, E. Ogam, A. Boudour, Z. E. A. Fellah, A. Oduor, and P. Baki, Ultrasonics, 81: 10 (2017). Crossref
  13. A. Boudour, Y. Boumaiza, M. Guerioune, and S. Belkahla, phys. status solidi (a), 201, Iss. 1: 80 (2004). Crossref
  14. A. Boudour, S. Deboub, T. Tahraoui, M. Ramdani, and Y. Boumaiza, PICMS AMSE (MS’07 Algeria) (July 2–4, 2007) (Algiers: 2007).
  15. B. Cros, Rev. Met. Paris, 98, No. 2: 215 (2001). Crossref
  16. J. Attal, Scanned Image Microscopy (Ed. E. A. Ash) (New York: Academic Press: 1980), p. 97.
  17. J. Attal, C. Amaudric Du Chaffaut, K. Alami, H. Coelho-Mandes, and A. Saied, Electronics Letters, 25, No. 24: 1625 (1989). Crossref
  18. A. Doghmane, Z. Hadjoub, K. Alami, J. M. Saurel, and J. Attal, J. American Society of Acoustic, 92: 1545 (1992). Crossref
  19. C. J. R. Shepard and T. Wilson, Appl. Phys. Letters, 38: 858 (1981). Crossref
  20. L. M. Brekhovskikh and O. A. Godin, Acoustic of Layered Media I: Plane and Quasi-Plane Waves (Berlin: Springer-Verlag: 1990). Crossref

© 2013–2017 «ІМФ НАН України»