Исследованы особенности формирования структурно-фазовых состояний и магнитные свойства плёнок сплава FePt толщиной 30 нм в условиях термической обработки в инертной (Ar) и комбинированной (Ar + 3% H$_2$) атмосферах в интервале температур 500–900°C. Выявлен эффект термической стабилизации размера областей когерентного рассеяния упорядоченной фазы $L1_0$-FePt и значений шероховатости поверхности наноразмерных плёнок при добавлении водорода в состав атмосферы отжига. Также влияние водорода проявляется в ускорении процессов упорядочения и увеличении коэрцитивной силы плёночного материала при низких температурах по сравнению с нейтральной атмосферой отжига.