Досліджено особливості формування структурно-фазових станів і магнетні властивості плівок стопу FePt товщиною у 30 нм за умов термічного оброблення в інертній (Ar) та комбінованій (Ar + 3% H$_2$) атмосферах в інтервалі температур 500–900°C. Виявлено ефект термічної стабілізації розміру областей когерентного розсіяння впорядкованої фази $L1_0$-FePt та значень поверхневої шерсткости нанорозмірних плівок при додаванні водню до складу атмосфери відпалу. Вплив водню також проявляється у пришвидшенні процесів впорядкування та збільшенні коерцитивної сили плівкового матеріялу за низьких температур порівняно з нейтральною атмосферою відпалу.