Выпуски МФиНТ »  Том 41, выпуск 3

Определение величины локальных деформаций и их анизотропии в поликристаллическом Ge по данным дифракции обратно рассеянных электронов

И. М. Фодчук$^{1}$, Н. С. Солодкий$^{1}$, М. Д. Борча$^{1}$, С. В. Баловсяк$^{1}$, В. М. Ткач$^{2}$

$^{1}$Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 58012 Черновцы, Украина
$^{2}$Институт сверхтвёрдых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина

Получена: 11.10.2018. Скачать: PDF

Предложен новый подход определения величины средних деформаций по картинам дифракции обратно рассеянных электронов в локальных участках поликристаллических образцов с решёткой алмаза. Для анализа изменений формы и площади профиля интенсивности полос Кикучи использовано дискретное двумерное Фурье-преобразования картин Кикучи и их энергетический Фурье-спектр. Степень размытия полос на картинах Кикучи связана с величинами деформации, которые количественно описываются через изменения среднего радиального периода и площади радиального распределения энергетического спектра изображения.

Ключевые слова: поликристаллический Ge, дифракция отражённых электронов, метод Кикучи, Фурье-переоброзование, энергетический Фурье-спектр, деформация.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v41/i03/0403.html

PACS: 61.05.jm, 61.72.Dd, 61.72.Mm, 61.72.uf, 68.35.bg, 68.35.Gy

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. M. Bosi and G. Attolini, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater., 56, No. 3: 146 (2010). Crossref
  2. H. Shang, H. Okorn-Schimdt, J. Ott, P. Kozlowski, S. Steen, E. C. Jones, H.-S. P. Wong, and W. Hanesch, IEEE Electron Device Lett., 24, No. 4: 242 (2003). Crossref
  3. M. Miyao, E. Murakami, H. Etoh, K. Nakagawa, and A. Nishida, J. Cryst. Growth, 111, Nos. 1–4: 912 (1991). Crossref
  4. S. J. Koester, J. D. Schaub, G. Dehlinger, and J. O. Chu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., 12, No. 6: 1489 (2006). Crossref
  5. J. Olson, S. Kurtz, A. Kibbler, and A. Faine, Appl. Phys. Lett., 56, No. 7: 623 (1990). Crossref
  6. R. R. King, D. C. Law, K. M. Edmondson, C. M. Fetzer, G. S. Kinsey, H. Yoon, R. A. Sherif, and N. H. Karam, Appl. Phys. Lett., 90, No. 18: 183516 (2007). Crossref
  7. D. Shahrjerdi, B. Hekmatshoar, S. S. Mohajerzadeh, A. Khakifirooz, and M. Robertson, J. Electron. Mater., 33, No. 4: 353 (2004). Crossref
  8. N. Yoshida, Y. Hatano, and M. Isomura, Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 95, No. 1: 175 (2011). Crossref
  9. W. Ludwig, S. Schmidt, E. M. Lauridsen, and H. F. Poulsen, J. Appl. Crystallogr., 41: 302 (2008). Crossref
  10. A. J. Schwartz, M. Kumar, B. Adams, and D. Field, Electron Backscatter Diffraction in Materials Science (USA: Boston, MA: Springer: 2009). Crossref
  11. I. M. Fodchuk, V. M. Tkach, V. G. Ralchenko, A. P. Bolshakov, E. E. Ashkinazi, I. I. Vlasov, Y. D. Garabazhiv, S. V. Balovsyak, S. V. Tkach, and O. M. Kutsay, Diamond Relat. Mater., 19, Nos. 5–6: 409 (2010). Crossref
  12. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, phys. status solidi (a), 208, No. 11: 2591 (2011). Crossref
  13. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics, 13, No. 3: 262 (2010).
  14. M. D. Borcha, S. V. Balovsyak, I. M. Fodchuk, V. Yu. Khomenko, O. P. Kroitor, and V. N. Tkach, J. Superhard Materials, 35, No. 5: 284 (2013). Crossref
  15. D. J. Dingley, A. J. Wilkinson, G. Meaden, and P. S. Karamched, J. Electron. Mater., 59, No. 1: 155 (2010). Crossref
  16. M. D. Borcha, S. V. Balovsyak, I. M. Fodchuk, V. Yu. Khomenko, and V. N. Tkach, J. Superhard Materials, 35, No. 4: 220 (2013). Crossref
  17. М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, Я. Д. Гарабажив, В. М. Ткач, И. М. Фодчук, Металлофиз. новейшие технол., 31, № 7: 911 (2009).
  18. М. Д. Борча, А. В. Звягинцева, В. М. Ткач, К. А. Ющенко, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 10: 1359 (2013).
  19. A. Stoll and A. J. Wilkinson, Comput. Mater. Sci., 89: 224 (2014). Crossref
  20. Y. Sasaki, M. Igushi, and M. Hino, Key Eng. Mater., 326–328: 237 (2006). Crossref
  21. D. L. Davidson, J. Mater. Sci. Lett., 1, No. 6: 236 (1982). Crossref
  22. Y. Yoshitomi, K. Ohta, J. Harase, and Y. Suga, Textures and Microstructures, 22, No. 4: 199 (1994). Crossref
  23. М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, В. М. Ткач, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 8: 1137 (2013).
  24. A. Wilkinson and B. Britton, Mater. Today, 15, No. 9: 366 (2012). Crossref
  25. С. В. Баловсяк, І. М. Фодчук, Комп’ютинг, 12, № 2: 160 (2013).
  26. S. V. Balovsyak, O. V. Derevyanchuk, and I. M. Fodchuk, Advances in Computer Science for Engineering and Education (Eds. Z. Hu, S. Petoukhov, I. Dychka, and M. He) (Switzerland: Cham: Springer: 2018). Crossref
  27. Р. Гонсалес, Р. Вудс, Цифровая обработка изображений (Москва: Техносфера: 2005).
  28. Р. Гонсалес, Р. Вудс, С. Эддинс, Цифровая обработка изображений в среде MatLab (Москва: Техносфера: 2006).

© 2013–2019 «ИМФ НАН Украины»