Эффекты анизотропии в ориентации призматических дислокационных петель и дискообразных кластеров в статистической динамической теории рассеяния рентгеновских лучей
И. П. Яремий$^{1}$, Б. К. Остафийчук$^{1}$, У. О. Томин$^{2}$, С. И. Яремий$^{2}$, М. М. Повх$^{1}$
$^{1}$ГВУЗ «Прикарпатский национальный университет имени Василия Стефаника», ул. Шевченко, 57, 76018 Ивано-Франковск, Украина
$^{2}$Ивано-Франковский национальный медицинский университет, ул. Галицкая, 2, 76018 Ивано-Франковск, Украина
Получена: 10.04.2019. Скачать: PDF
Для анализа кристаллической структуры монокристаллов и плёнок в рамках статистической динамической теории рассеяния рентгеновских лучей были получены функциональные зависимости структурно чувствительных к дефектам параметров, учитывающих эффекты анизотропии в ориентации центрально несимметричных дефектов (дислокационных петель и дискообразных кластеров). Для различных отражений вычислен коэффициент в выражении для статического фактора Кривоглаза–Дебая–Валлера для дислокационных петель с разными ориентациями вектора Бюргерса. Установлены зависимости коэффициента экстинкции для дислокационных петель любой ориентации и размеров. Показано, что интенсивность диффузного фона, рассчитанного с учётом и без учёта анизотропии в ориентации дислокационных петель, может отличаться почти на порядок. Сделан вывод, что неучёт имеющейся анизотропии в ориентации дислокационных петель может привести к завышению почти на порядок рассчитанной из экспериментальных кривых дифракционного отражения концентрации дислокационных петель.
Ключевые слова: ионная имплантация, дислокационные петли, дискообразные кластеры, эффекты анизотропии, статистическая динамическая теория рассеяния рентгеновских лучей, рентгеновская дифрактометрия.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v41/i06/0699.html
PACS: 61.05.cc, 61.05.cf, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Qq, 68.55.Ln