Эффекты анизотропии в ориентации призматических дислокационных петель и дискообразных кластеров в статистической динамической теории рассеяния рентгеновских лучей
И. П. Яремий1, Б. К. Остафийчук1, У. О. Томин2, С. И. Яремий2, М. М. Повх1
1ГВУЗ «Прикарпатский национальный университет имени Василия Стефаника», ул. Шевченко, 57, 76018 Ивано-Франковск, Украина
2Ивано-Франковский национальный медицинский университет, ул. Галицкая, 2, 76018 Ивано-Франковск, Украина
Получена: 10.04.2019. Скачать: PDF
Для анализа кристаллической структуры монокристаллов и плёнок в рамках статистической динамической теории рассеяния рентгеновских лучей были получены функциональные зависимости структурно чувствительных к дефектам параметров, учитывающих эффекты анизотропии в ориентации центрально несимметричных дефектов (дислокационных петель и дискообразных кластеров). Для различных отражений вычислен коэффициент в выражении для статического фактора Кривоглаза–Дебая–Валлера для дислокационных петель с разными ориентациями вектора Бюргерса. Установлены зависимости коэффициента экстинкции для дислокационных петель любой ориентации и размеров. Показано, что интенсивность диффузного фона, рассчитанного с учётом и без учёта анизотропии в ориентации дислокационных петель, может отличаться почти на порядок. Сделан вывод, что неучёт имеющейся анизотропии в ориентации дислокационных петель может привести к завышению почти на порядок рассчитанной из экспериментальных кривых дифракционного отражения концентрации дислокационных петель.
Ключевые слова: ионная имплантация, дислокационные петли, дискообразные кластеры, эффекты анизотропии, статистическая динамическая теория рассеяния рентгеновских лучей, рентгеновская дифрактометрия.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v41/i06/0699.html
PACS: 61.05.cc, 61.05.cf, 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Qq, 68.55.Ln