В работе рассмотрено влияние материала подложек из меди и нержавеющей стали на закономерности формирования структуры поверхностей разрушения и особенности распределения вдоль них легирующих элементов в покрытиях, полученных методом конденсации с ионной бомбардировкой катода из высокоэнтропийного сплава эквиатомного состава AlCuCoFeNiCr. Продемонстрированы особенности влияния изменений теплофизических параметров в системе покрытие–подложка на формирование структур и поверхностей разрушения покрытий. При этом установлено, что даже в слоях покрытий, приближённых к поверхностям подложек, где согласно коэффициентам их теплопроводности скорость охлаждения на меди должна до восьми раз превышать случай с нержавеющей сталью, ожидаемого эффекта измельчения структур в случае медной подложки (0,5–2,5 мкм) не наблюдается. В тоже время значительное измельчение этих структур до размеров <0,5 мкм происходит по всей толщине покрытия, снятого с нержавеющей стали. В покрытии с меди процесс диспергирования структур слабее, и заканчивается на расстоянии до 10 мкм от контактной с подложкой поверхности. Это сопровождается изменением характера разрушения на изгиб покрытия с медной подложки от квазихрупкого с минимальными признаками пластической деформации при высокой степени её локализации в области диспергированных структур к хрупко-вязкому с фрагментами интеркристаллитного расслоения в переходных зонах. Вязкий механизм с участием интеркристаллитного разрушения вдоль границ столбчатых элементов структуры наблюдается вплоть до поверхности покрытия. В тоже время поверхность разрушения у покрытия с нержавеющей стали имеет преимущественно транскристаллитный характер. Кроме того, увеличение значений структурных параметров в покрытии с меди сопровождается повышением неоднородности распределения в структурах поверхности разрушения химических элементов в сторону образования соединения Cu–Ni–Al. Увеличение вероятности его зарождения и размеров соответствующих областей происходит в обоих покрытиях по мере удаления от поверхности контакта с подложкой. В частности подтверждено, что оба покрытия имеют подобный катоду химический состав, а различия в структурных изменениях связаны со значительно большей скоростью нагрева медной подложки, повышенной температурой покрытия на ней и, соответственно, лучше развитыми процессами формирования структур и распада твёрдого раствора.