Описана числовая процедура расчёта рассеяния света на шероховатой поверхности кварца, причём профиль упомянутой поверхности имеет гауссову пространственную корреляционную функцию. Использован конечно-элементный подход для решения двумерного векторного уравнения Гельмгольца. При освещении такой поверхности со стороны кварца, когда угол падения луча равен критическому углу и когда среднее отклонение $\delta$ шероховатости незначительное ($\delta$ < 10 нм), получены следующие результаты: (а) в зависимости от фазы падающей волны её гребень меняет своё положение вдоль границы раздела; (б) величина данного гребня в области выступов имеет значительно большие значения, чем в области впадин, создавая оптимальные условия для субнанополировки данной поверхности; (в) при увеличении длины корреляции шероховатой поверхности кварца контрастность поля вдоль данной поверхности уменьшается, причём она практически не зависит от длины падающей волны.