Описана числова процедура розрахунку розсіяння світла на шерсткій поверхні кварцу, причому профіль згаданої поверхні має гаусову просторову кореляційну функцію. Використано кінцево-елементний підхід для розв’язку двовимірного векторного рівняння Гельмгольця. При освітленні такої поверхні з боку кварцу, коли кут падіння променя дорівнює критичному куту й коли середньоквадратичне відхилення $\delta$ шерсткості незначне ($\delta$ < 10 нм), отримано наступні результати: (а) в залежності від фази хвилі, що падає, її гребінь змінює своє положення уздовж роздільчої межі; (б) величина даного гребеня в області виступів має значно більші значення, ніж в області западин, створюючи оптимальні умови для субнанополірування даної поверхні; (в) при збільшенні довжини кореляції шерсткої поверхні кварцу контрастність поля уздовж згаданої поверхні зменшується, причому вона практично не залежить від довжини хвилі, що падає.