Формирование фазового состава и магнитные свойства в сверхтонких плёнках FePd

Формирование фазового состава и магнитные свойства в сверхтонких плёнках FePd–Au при отжигах в вакууме и водороде

М. Н. Шамис$^{1}$, П. В. Макушко$^{1}$, И. Д. Беседин$^{1}$, Я. О. Бeрезняк$^{2}$, К. А. Грайворонська$^{2}$, Т. И. Вербицкая$^{1}$, Ю. Н. Макогон$^{1}$

$^{1}$Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
$^{2}$Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Получена: 26.11.2020. Скачать: PDF

В работе исследовано влияние среды термической обработки на ход процессов фазообразования в наноразмерных плёнках FePd с дополнительным слоем Au. Плёнки FePd/Au получены методом магнетронного осаждения на подложку SiO$_2$/Si(001) при комнатной температуре. Общая толщина плёнок составляла 5 нм с толщиной подслоя Au 0,3, 0,6 и 0,9 нм. После осаждения плёнки были подвергнуты термической обработке в вакууме или среде водорода в температурном интервале 600–700°С с изотермической выдержкой 0,5–20 часов. Установлено, что термическая обработка в водороде ускоряет ход процессов фазообразования в плёнках FePd (4,7 нм)/Au (0,3 нм) по сравнению с отжигом в вакууме. Увеличение толщины дополнительного слоя Au не способствует формированию магнитно-твёрдой фазы L1$_0$ FePd.

Ключевые слова: тонкие плёнки FePd, отжиг в вакууме и водороде, коэрцитивная сила, упорядоченная фаза, структура L1$_0$.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v43/i04/0505.html

PACS: 64.60.Cn, 68.55.-a, 75.50.Ss, 75.50.Vv, 75.70.Ak, 81.30.Hd

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

M. T. Kief and R. H. Victora, MRS Bull., 43, No. 2: 87 (2018). Crossref
D. Weller, G. Parker, O. Mosendz, A. Lyberatos, D. Mitin, N. Y. Safonova, and M. Albrecht, J. Vac. Sci. Technol. B, Nanotechnol. Microelectron. Mater. Process. Meas. Phenom., 34, No. 6: 060801 (2016). Crossref
O. V. Shamis, I. A. Vladymyrskyi, Y. M. Makogon, and S. I. Sidorenko, Progress in Physics of Metals, 19, No. 3: 337 (2018). Crossref
D. E. Laughlin, K. Srinivasan, M. Tanase, and L. Wang, Scr. Mater., 53, No. 4: 383 (2005). Crossref
C. Issro, M. Abes, W. Püschl, B. Sepiol, W. Pfeiler, P. F. Rogl, G. Schmerber, W. A. Soffa, R. Kozubski, and V. Pierron-Bohnes, Metall. Mater. Trans. A, 37, No. 12: 3415 (2006). Crossref
J. R. Skuza, C. Clavero, K. Yang, B. Wincheski, and R. A. Lukaszew, IEEE Trans. Magn., 46, No. 6: 1886 (2010). Crossref
J. Ko, T. Bae, and J. Hong, J. Appl. Phys., 112, No. 11: 113919 (2012). Crossref
T. Liu, L. Ma, S. Q. Zhao, D. D. Ma, L. Li, G. Cheng, and G. H. Rao, J. Mater. Sci. Mater. Electron., 28, No. 4: 3616 (2017). Crossref
J. Kim, J. W. Choi, H.-J. Kim, S.-G. Cho, J. Kim, and H. S. Kim, J. Korean Phys. Soc., 60, No. 1: 10 (2012). Crossref
H. W. Chang, F. T. Yuan, W. C. Chen, D. H. Wei, M. C. Lin, C. C. Su, C. R. Wang, C. W. Shih, W. C. Chang, and Y. D. Yao, IEEE Trans. Magn., 51, No. 11: 1 (2015). Crossref
B. Li, W. Liu, X. G. Zhao, S. Ma, W. J. Gong, J. N. Feng, F. Wang, and Z. D. Zhang, Mater. Lett., 100: 58 (2013). Crossref
C. L. Platt, K. W. Wierman, E. B. Svedberg, R. van de Veerdonk, J. K. Howard, A. G. Roy, and D. E. Laughlin, J. Appl. Phys., 92, No. 10: 6104 (2002). Crossref
М. Ю. Вербицкая, М. Н. Шамис, К. А. Грайворонская, Т. И. Вербицкая, Ю. Н. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, Металлофиз. новейшие технол., 40, № 3: 381 (2018). Crossref
М. Ю. Вербицька, М. Н. Шаміс, П. В. Макушко, Я. A. Бeрезняк, К. О. Грайворонська, Т. І. Вербицька, Ю. М. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, Металлофиз. новейшие технол., 40, № 8: 1069 (2018). Crossref
T. Kamiki and S. Nakagawa, J. Magn. Soc. Japan, 28, No. 3: 330 (2004). Crossref
I. A. Vladymyrskyi, M. V. Karpets, F. Ganss, G. L. Katona, D. L. Beke, S. I. Sidorenko, T. Nagata, T. Nabatame, T. Chikyow, G. Beddies, M. Albrecht, and Iu. M. Makogon, J. Appl. Phys., 114, No. 16: 164314 (2013). Crossref
M. Yamauchi, K. Okubo, T. Tsukuda, K. Kato, M. Takata, and S. Takeda, Nanoscale, 6, No. 8: 4067 (2014). Crossref