Формирование фазового состава и магнитные свойства в сверхтонких плёнках FePd–Au при отжигах в вакууме и водороде
М. Н. Шамис1, П. В. Макушко1, И. Д. Беседин1, Я. О. Бeрезняк2, К. А. Грайворонська2, Т. И. Вербицкая1, Ю. Н. Макогон1
1Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
2Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина
Получена: 26.11.2020. Скачать: PDF
В работе исследовано влияние среды термической обработки на ход процессов фазообразования в наноразмерных плёнках FePd с дополнительным слоем Au. Плёнки FePd/Au получены методом магнетронного осаждения на подложку SiO2/Si(001) при комнатной температуре. Общая толщина плёнок составляла 5 нм с толщиной подслоя Au 0,3, 0,6 и 0,9 нм. После осаждения плёнки были подвергнуты термической обработке в вакууме или среде водорода в температурном интервале 600–700°С с изотермической выдержкой 0,5–20 часов. Установлено, что термическая обработка в водороде ускоряет ход процессов фазообразования в плёнках FePd (4,7 нм)/Au (0,3 нм) по сравнению с отжигом в вакууме. Увеличение толщины дополнительного слоя Au не способствует формированию магнитно-твёрдой фазы L10 FePd.
Ключевые слова: тонкие плёнки FePd, отжиг в вакууме и водороде, коэрцитивная сила, упорядоченная фаза, структура L10.
URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v43/i04/0505.html
PACS: 64.60.Cn, 68.55.-a, 75.50.Ss, 75.50.Vv, 75.70.Ak, 81.30.Hd