Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме тонких двойных гафниево-палладиевых плёнок, нанесённых на оксидные керамические материалы

И. И. Габ, Т. В. Стецюк

Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03142 Киев, Украина

Получена: 02.04.2021. Скачать: PDF

Исследована кинетика диспергирования тонких гафниево-палладиевых двойных плёнок, нанесённых на лейкосапфир, алюмооксидную и диоксидноциркониевую керамики и отожжённых в вакууме при температурах до 1200°C и разных интервалах выдержки при каждой температуре (от 5 до 20 мин). Двойные плёнки состояли из двух слоёв. Первый металлизированный слой представлял собой гафниевую наноплёнку толщиной 150 нм, нанесённую на поверхность оксида. На неё был нанесён палладиевый слой толщиной 1,5 мкм, который должен был служить в качестве припоя при соединении между собой металлизированных оксидных образцов. Установлено, что эти плёнки остаются достаточно плотными при непродолжительном (5 мин) нагреве их до 1200°C, а после увеличения времени отжига они интенсивно диспергируют. Построены кинетические кривые диспергирования плёнок на всех оксидах в зависимости от температуры отжига и времени выдержки при каждой температуре и изготовлены опытные образцы приведённых оксидов сваркой давлением и пайкой с использованием результатов исследований.

Ключевые слова: кинетика диспергирования, гафниево-палладиевая двойная плёнка, отжиг, оксидный материал.

URL: https://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v43/i09/1225.html

PACS: 68.35.bd, 68.37.Hk, 68.47.De, 68.55.J-, 81.20.Vj, 81.40.Ef


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. М. А. Рубашев, Г. И. Бердов, В. Н. Гаврилов, Термостойкие диэлектрики и их спаи с металлами в новой технике (Москва: Атомиздат: 1980).
  2. Ю. В. Найдич, Контактные явления в металлических расплавах (Киев: Наукова думка: 1972).
  3. Н. Ф. Лашко, С. В. Лашко, Пайка металлов (Москва: Машиностроение: 1967).
  4. Н. Ф. Казаков, Диффузионная сварка материалов (Москва: Машиностроение: 1976).
  5. В. А. Бачин, Теория, технология и оборудование диффузионной сварки (Москва: Машиностроение: 1991).
  6. И. И. Метелкин, М. А. Павлов, Н. В. Поздеева, Сварка керамики с металлами (Москва: Металлургия: 1977).
  7. В. Р. Евдокимов, С. Л. Каштанов, Л. Н. Ладо, С. Н. Шубин, Сварочное производство, 8: 2 (1995).
  8. М. Сираканэ, М. Накахаси, Т. Ямадзаки, Способ соединения оксида алюминия и металла, Заявка 60-239373 Япония (Опубл. 28.11.85).
  9. Н. Масару, И. Юити, К. Канэя, Метод соединения металла и керамики, Заявка 380163 Япония (Опубл. 04.04.91).
  10. Y. Naidich, Industrial Ceramics, 19, No. 3: 162 (1999).
  11. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Доповіді академії наук, 35: 97 (2007).
  12. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Техника машиностроения, 1: 28 (2006).
  13. В. М. Якович В. М. Комаровская. Материалы XII Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ «Инженерно-педагогическое образование в XXI веке» (19–20 мая 2016, Минск) (Минск: 2016), ч. 2, с. 215.
  14. А. А. Андреев, Г. И. Костюк, Н. А. Минав, Авиационно-космическая техника и технология, 89, № 2: 28 (2012).
  15. С. В. Зайцев, Ю. В. Герасименко, М. В. Лобанов, А. М. Ховив, Конденсированные среды и межфазные границы, 16, № 2: 153 (2014).
  16. Т. А. Лобанова, А. О. Волхонский, И. В. Блинков, Инноватика и экспертиза, 10, № 1: 76 (2013).
  17. Д. В. Великодный, C. И. Проценко, И. Е. Проценко, Физическая инженерия поверхности, 6, № 1–2: 37 (2008).
  18. M. Naveed, A. Obrosov, and S. Weib, Hindawi Publishing Corporation Conf. Papers in Science, Volume 2015, аrticle ID 873543. Crossref
  19. С. Метфессель, Тонкие пленки, их изготовление и измерение (Москва–Ленинград: Госэнергоиздат: 1963).
  20. Г. Хаас, Р. Э. Тун, Физика тонких пленок (Москва: Мир: 1968).