Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов

Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк

Институт проблем материаловедения им. И.Н. Францевича НАН Украины, ул. Академика Кржижановского, 3, 03680, ГСП, Киев-142, Украина

Получена: 28.11.2013. Скачать: PDF

Исследована кинетика процессов диспергирования—коагулирования наноплёнок различных металлов (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные и неоксидные подложки и отожжённых в широком диапазоне температур от 600 до 1600°C. Предложено объяснение механизма распада металлических наноплёнок с учётом процессов, происходящих на межфазной границе плёнка—твердофазная основа.

Ключевые слова: кинетика диспергирования и коагуляции, отжиг, наноплёнки.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i04/0519.html

PACS: 68.08.Bc, 68.35.Np, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 81.15.Jj, 82.70.-y


ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. G. Elssner, W. Diem, and J. Wallace, Materials of 17 University Conference on Ceramics (July 28–August 1, 1980, Berkeley, California) (New York–London: 1981), p. 629.
  2. W. X. Pan, T. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994). Crossref
  3. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and A. M. Glaeser, Scr. Met. et Mater., 31, No 8: 1043 (1994). Crossref
  4. M. Z.-C. Hu, R. D. Hunt, E. A. Payzant, and C. R. Hubbard, J. Amer. Ceram. Soc., 82, No. 9: 2313 (1999). Crossref
  5. R. R. Piticescu, C. Monty, D. Taloi, A. Motoc, and S. Axinte, J. Eur. Ceram. Soc., 21, Iss. 10–11: 2057 (2001). Crossref
  6. В. В. Новиков, Теоретические основы микроэлектроники (Москва: Высшая школа: 1972).
  7. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Адгезия расплавов и пайка материалов, № 38: 69 (2005).
  8. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Наноструктурное мате-риаловедение, № 1: 31 (2006).
  9. И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, О. С. Литвин, В. В. Пасичный, Адгезия расплавов и пайка материалов, № 40: 46 (2007).
  10. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Техника машиностроения, № 4: 13 (2006).
  11. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Доповіді Академії наук, № 35: 97 (2007).
  12. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 6, вип. 4: 1185 (2008).
  13. С. Метфессель, Тонкие плёнки, их изготовление и измерение (Москва–Ленинград: Госэнергоиздат: 1963).
  14. С. В. Рябцев, О. А. Чувенкова, А. Е. Попов, Ф. М. Чернышев, Н. С. Рябцева, Э. П. Домашевская, Конденсированные среды и межфазные границы, 14, № 3: 328 (2012).
  15. Г. М. Абрамова, Н. И. Киселев, Г. С. Патрин, Г. А. Петраковский, Физика твёрдого тела, 41, вып. 3: 380 (1999).
  16. Ю. А. Быков, С. Д. Карпухин, Е. И. Газукина, Металловедение и термиче-ская обработка металлов, № 6: 45 (2000).
  17. М. А. Гавриленко, Н. А. Филатова, М. С. Бурметьева, Известия Томского политехнического университета, 322, № 3: 42 (2013).
  18. Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов, Е. Н. Редичев, Р. М. Амосов, Физика твёрдого тела, 49, вып. 1: 172 (2007).
  19. М. Ю. Бальшин, С. С. Кипарисов, Основы порошковой металлургии (Москва: Металлургия: 1978).