Кінетика дисперґування—коаґуляції при відпалі металевих наноплівок, нанесених на поверхню неметалічних матеріалів

Ю. В. Найдич, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк

Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, вул. Академіка Кржижановського, 3, 03680, МСП, Київ-142, Україна

Отримано: 28.11.2013. Завантажити: PDF

Досліджено кінетику процесів дисперґування—коаґулювання наноплівок різних металів (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) завтовшки у 100 нм, яких нанесено на оксидні та неоксидні підложжя та відпалено в широкому діапазоні температур від 600 до 1600°C. Запропоновано пояснення механізму розпаду металевих наноплівок з урахуванням процесів, які відбуваються на міжфазній межі плівка—твердофазна основа.

Ключові слова: кінетика дисперґування та коаґуляції, відпал, наноплівки.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i04/0519.html

PACS: 68.08.Bc, 68.35.Np, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 81.15.Jj, 82.70.-y


ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
  1. G. Elssner, W. Diem, and J. Wallace, Materials of 17 University Conference on Ceramics (July 28–August 1, 1980, Berkeley, California) (New York–London: 1981), p. 629.
  2. W. X. Pan, T. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994). Crossref
  3. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and A. M. Glaeser, Scr. Met. et Mater., 31, No 8: 1043 (1994). Crossref
  4. M. Z.-C. Hu, R. D. Hunt, E. A. Payzant, and C. R. Hubbard, J. Amer. Ceram. Soc., 82, No. 9: 2313 (1999). Crossref
  5. R. R. Piticescu, C. Monty, D. Taloi, A. Motoc, and S. Axinte, J. Eur. Ceram. Soc., 21, Iss. 10–11: 2057 (2001). Crossref
  6. В. В. Новиков, Теоретические основы микроэлектроники (Москва: Высшая школа: 1972).
  7. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Адгезия расплавов и пайка материалов, № 38: 69 (2005).
  8. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Наноструктурное мате-риаловедение, № 1: 31 (2006).
  9. И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, О. С. Литвин, В. В. Пасичный, Адгезия расплавов и пайка материалов, № 40: 46 (2007).
  10. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Техника машиностроения, № 4: 13 (2006).
  11. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В. Дукаров, Доповіді Академії наук, № 35: 97 (2007).
  12. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 6, вип. 4: 1185 (2008).
  13. С. Метфессель, Тонкие плёнки, их изготовление и измерение (Москва–Ленинград: Госэнергоиздат: 1963).
  14. С. В. Рябцев, О. А. Чувенкова, А. Е. Попов, Ф. М. Чернышев, Н. С. Рябцева, Э. П. Домашевская, Конденсированные среды и межфазные границы, 14, № 3: 328 (2012).
  15. Г. М. Абрамова, Н. И. Киселев, Г. С. Патрин, Г. А. Петраковский, Физика твёрдого тела, 41, вып. 3: 380 (1999).
  16. Ю. А. Быков, С. Д. Карпухин, Е. И. Газукина, Металловедение и термиче-ская обработка металлов, № 6: 45 (2000).
  17. М. А. Гавриленко, Н. А. Филатова, М. С. Бурметьева, Известия Томского политехнического университета, 322, № 3: 42 (2013).
  18. Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов, Е. Н. Редичев, Р. М. Амосов, Физика твёрдого тела, 49, вып. 1: 172 (2007).
  19. М. Ю. Бальшин, С. С. Кипарисов, Основы порошковой металлургии (Москва: Металлургия: 1978).