Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления

Выпуски МФиНТ » Том 36, выпуск 5

А. А. Гончаров $^{1}$ , А. Н. Добровольский $^{1}$ , Е. Г. Костин $^{2}$ , И. С. Петрик $^{3}$ , Е. К. Фролова $^{1}$

$^{1}$ Институт физики НАН Украины, просп. Науки, 46, 03028 Киев, Украина
$^{2}$ Институт ядерных исследований НАН Украины, просп. Науки, 47, 03680 Киев, Украина
$^{3}$ Институт химии поверхности им. А.А. Чуйко НАН Украины, ул. Генерала Наумова, 17, 03164 Киев, Украина

Получена: 04.12.2013. Скачать: PDF

Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO $_{2}$ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность.

Ключевые слова: наноплёнки, покрытия из диоксида титана, реактивное магнетронное осаждение, фотокатализ.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i05/0613.html

PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

S. Tanemura, L. Miao, W. Wunderlich, M. Tanemura, Yu. Mori, Sh. Toh, and K. Kaneko, Sci. Technol. Adv. Mat., 6: 11 (2005). Crossref
И. В. Блонский, А. А. Гончаров, А. В. Демчишин, А. Н. Евсюков, Е. Г. Костин, В. А. Сальников, А. Г. Терещенко, Л. Н. Ткаченко, Журнал технической физики, 79, № 7: 127 (2009).
Y. H. Han, S. J. Jung, and J. J. Lee, Surf. Coat. Technol., 201, Nos. 9–11: 5387 (2007). Crossref
S. Hashimoto and A. Tanaka, Surf. Interface Anal., 34, No. 1: 262 (2002). Crossref
K. Ellmer and R. Mientus, Proc. of 11 Conf. on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (March 7–11, 1994, Dresden), p. 131.
R. J. Gonzalez, Raman Infrared, X-Ray and EELS Studies of Nanophase Titania (Thesis of Disser. for PhD) (Blacksburg: Virginia Polytechnic Institute and State University: 1996).
R. Swanepoel, J. Phys. E: Sci. Instrum., 16: 1214 (1983). Crossref
A. Valeev, Opt. Spektrosk., 15: 269 (1963).
S. K. Deb, R. Ellingson, S. Ferrere, A. J. Frank, B. A. Gregg, A. J. Nozik, N. Park, and G. Schlichthorl, World Conference and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion (July 6–10, 1998, Vienna), p. 6.
U. Diebold, Surf. Sci. Rep., 48: 53 (2003). Crossref
І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, О. К. Фролова, O. В. Турчин, Г. М. Єременко, Хімія, фізика та технологія поверхні, 10: 90 (2004).
І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, А. М. Єременко, О. К. Фролова, О. І. Оранська, Фізика і хімія твердого тіла, 13, № 2: 242 (2012).