Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
А. А. Гончаров$^{1}$, А. Н. Добровольский$^{1}$, Е. Г. Костин$^{2}$, И. С. Петрик$^{3}$, Е. К. Фролова$^{1}$
$^{1}$Институт физики НАН Украины, просп. Науки, 46, 03028 Киев, Украина
$^{2}$Институт ядерных исследований НАН Украины, просп. Науки, 47, 03680 Киев, Украина
$^{3}$Институт химии поверхности им. А.А. Чуйко НАН Украины, ул. Генерала Наумова, 17, 03164 Киев, Украина
Получена: 04.12.2013. Скачать: PDF
Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO$_{2}$ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность.
Ключевые слова: наноплёнки, покрытия из диоксида титана, реактивное магнетронное осаждение, фотокатализ.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i05/0613.html
PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m