Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок діоксиду титану, осаджених методом реактивного магнетронного напилення

Випуски МФіНТ » Том 36, випуск 5

О. А. Гончаров$^{1}$, А. М. Добровольський$^{1}$, Є. Г. Костін$^{2}$, І. С. Петрик$^{3}$, О. К. Фролова$^{1}$

$^{1}$Інститут фізики НАН України, просп. Науки, 46, 03028 Київ, Україна
$^{2}$Інститут ядерних досліджень НАН України, просп. Науки, 47, 03680 Київ, Україна
$^{3}$Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України, вул. Генерала Наумова, 17, 03164 Київ, Україна

Отримано: 04.12.2013. Завантажити: PDF

Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO$_{2}$ в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.

Ключові слова: наноплівки, покриття із діоксиду титану, реактивне магнетронне осадження, фотокаталіз.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i05/0613.html

PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

S. Tanemura, L. Miao, W. Wunderlich, M. Tanemura, Yu. Mori, Sh. Toh, and K. Kaneko, Sci. Technol. Adv. Mat., 6: 11 (2005). Crossref
И. В. Блонский, А. А. Гончаров, А. В. Демчишин, А. Н. Евсюков, Е. Г. Костин, В. А. Сальников, А. Г. Терещенко, Л. Н. Ткаченко, Журнал технической физики, 79, № 7: 127 (2009).
Y. H. Han, S. J. Jung, and J. J. Lee, Surf. Coat. Technol., 201, Nos. 9–11: 5387 (2007). Crossref
S. Hashimoto and A. Tanaka, Surf. Interface Anal., 34, No. 1: 262 (2002). Crossref
K. Ellmer and R. Mientus, Proc. of 11 Conf. on High Vacuum, Interfaces and Thin Films (March 7–11, 1994, Dresden), p. 131.
R. J. Gonzalez, Raman Infrared, X-Ray and EELS Studies of Nanophase Titania (Thesis of Disser. for PhD) (Blacksburg: Virginia Polytechnic Institute and State University: 1996).
R. Swanepoel, J. Phys. E: Sci. Instrum., 16: 1214 (1983). Crossref
A. Valeev, Opt. Spektrosk., 15: 269 (1963).
S. K. Deb, R. Ellingson, S. Ferrere, A. J. Frank, B. A. Gregg, A. J. Nozik, N. Park, and G. Schlichthorl, World Conference and Exhibition on Photovoltaic Solar Energy Conversion (July 6–10, 1998, Vienna), p. 6.
U. Diebold, Surf. Sci. Rep., 48: 53 (2003). Crossref
І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, О. К. Фролова, O. В. Турчин, Г. М. Єременко, Хімія, фізика та технологія поверхні, 10: 90 (2004).
І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, А. М. Єременко, О. К. Фролова, О. І. Оранська, Фізика і хімія твердого тіла, 13, № 2: 242 (2012).