Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок діоксиду титану, осаджених методом реактивного магнетронного напилення
О. А. Гончаров1, А. М. Добровольський1, Є. Г. Костін2, І. С. Петрик3, О. К. Фролова1
1Інститут фізики НАН України, просп. Науки, 46, 03028 Київ, Україна
2Інститут ядерних досліджень НАН України, просп. Науки, 47, 03680 Київ, Україна
3Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України, вул. Генерала Наумова, 17, 03164 Київ, Україна
Отримано: 04.12.2013. Завантажити: PDF
Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO2 в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.
Ключові слова: наноплівки, покриття із діоксиду титану, реактивне магнетронне осадження, фотокаталіз.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i05/0613.html
PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m