Моделирование и диагностика деформаций в приповерхностных слоях монокристаллов гадолиний—галлиевого граната, имплантированных ионами F$^{+}$

Выпуски МФиНТ » Том 36, выпуск 8

Моделирование и диагностика деформаций в приповерхностных слоях монокристаллов гадолиний—галлиевого граната, имплантированных ионами F $^{+}$

В. О. Коцюбинский $^{1}$ , В. М. Пылыпив $^{1}$ , Б. К. Остафийчук $^{1}$ , И. П. Яремий $^{1}$ , О. З. Гарпуль $^{1}$ , Е. С. Скакунова $^{2}$ , В. Б. Молодкин $^{2}$ , С. И. Олиховский $^{2}$

$^{1}$ Прикарпатский национальный университет им. Василия Стефаника, ул. Шевченко, 57, 76018 Ивано-Франковск, Украина
$^{2}$ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 36, 03680, ГСП, Киев-142, Украина

Получена: 17.06.2014. Скачать: PDF

На основе обработки экспериментальных данных рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения с применением статистической динамической теории дифракции рентгеновских лучей в дефектных кристаллах получены распределения упругой деформации по глубине приповерхностного слоя монокристаллов гадолиний-галлиевого граната, которые были имплантированы ионами F $^{+}$ с энергией в 90 кэВ. Проанализирована зависимость характеристик деформированного состояния кристалла от дозы ионной имплантации.

Ключевые слова: деформация, ионная имплантация, гадолиний—галлиевий гранат, статистическая динамическая теория дифракции.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v36/i08/1049.html

PACS: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 61.80.Jh, 61.82.Fk, 68.55.Ln

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

Л. М. Летюк, В. Г. Костишин, А. В. Гончар, Технология ферритовых материалов магнитоэлектроники (Москва: МИСиС: 2005).
Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Ионная имплантация и лучевая технология (Киев: Наукова думка: 1988).
V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, T. P. Vladimirova, E. S. Skakunova, R. F. Seredenko, and B. V. Sheludchenko, Phys. Rev. B, 78, No. 22: 224109 (2008). Crossref
J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 268, Issues 11–12: 1818 (2010).
В. М. Пилипів, Б. К. Остафійчук, Т. П. Владімірова, Є. М. Кисловський, В. Б. Молодкін, С. Й. Оліховський, О. В. Решетник, О. С. Скакунова, С. В. Лізунова, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 9, вип. 2: 375 (2011).
В. М. Пилипів, С. Й. Оліховський, Т. П. Владімірова, О. С. Скакунова, В. Б. Молодкін, Б. К. Остафійчук, Є. М. Кисловський, О. В. Решетник, С. В. Лізунова, О. З. Гарпуль, Металлофиз. новейшие технол., 33, № 9: 1147 (2011).
M. Wormington, C. Panaccione, K. M. Matney, and D. K. Bowen, Philos. Trans. R. Soc. Lond. A, 357: 2827 (1999). Crossref
А. Authier, Dynamical Theory of X-Ray Diffraction (Oxford: Oxford University Press: 2003). Crossref