Моделювання та діягностика деформацій у приповерхневих шарах монокристалів ґадоліній—ґалієвого ґранату, імплантованих йонами F+
В. О. Коцюбинський1, В. М. Пилипів1, Б. К. Остафійчук1, І. П. Яремій1, О. З. Гарпуль1, О. С. Скакунова2, В. Б. Молодкін2, С. Й. Оліховський2
1Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, 76018 Івано-Франківськ, Україна
2Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03680, МСП, Київ-142, Україна
Отримано: 17.06.2014. Завантажити: PDF
На основі оброблення експериментальних даних високороздільчої Рентґенової дифрактометрії із застосуванням статистичної динамічної теорії дифракції Рентґенових променів у дефектних кристалах одержано розподіл пружніх деформацій за глибиною приповерхневого шару монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, яких було імплантовано йонами F+ з енергією у 90 кеВ. Проаналізовано залежність характеристик деформованого стану кристалу від дози йонної імплантації.
Ключові слова: деформація, йонна імплантація, ґадоліній—ґалієвий ґранат, статистична динамічна теорія дифракції.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i08/1049.html
PACS: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 61.80.Jh, 61.82.Fk, 68.55.Ln