Моделювання та діягностика деформацій у приповерхневих шарах монокристалів ґадоліній—ґалієвого ґранату, імплантованих йонами F$^{+}$

Випуски МФіНТ » Том 36, випуск 8

В. О. Коцюбинський$^{1}$, В. М. Пилипів$^{1}$, Б. К. Остафійчук$^{1}$, І. П. Яремій$^{1}$, О. З. Гарпуль$^{1}$, О. С. Скакунова$^{2}$, В. Б. Молодкін$^{2}$, С. Й. Оліховський$^{2}$

$^{1}$Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, 76018 Івано-Франківськ, Україна
$^{2}$Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03680, МСП, Київ-142, Україна

Отримано: 17.06.2014. Завантажити: PDF

На основі оброблення експериментальних даних високороздільчої Рентґенової дифрактометрії із застосуванням статистичної динамічної теорії дифракції Рентґенових променів у дефектних кристалах одержано розподіл пружніх деформацій за глибиною приповерхневого шару монокристалів ґадоліній-ґалієвого ґранату, яких було імплантовано йонами F$^{+}$ з енергією у 90 кеВ. Проаналізовано залежність характеристик деформованого стану кристалу від дози йонної імплантації.

Ключові слова: деформація, йонна імплантація, ґадоліній—ґалієвий ґранат, статистична динамічна теорія дифракції.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v36/i08/1049.html

PACS: 61.05.cp, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 61.80.Jh, 61.82.Fk, 68.55.Ln

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

Л. М. Летюк, В. Г. Костишин, А. В. Гончар, Технология ферритовых материалов магнитоэлектроники (Москва: МИСиС: 2005).
Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Ионная имплантация и лучевая технология (Киев: Наукова думка: 1988).
V. B. Molodkin, S. I. Olikhovskii, E. N. Kislovskii, T. P. Vladimirova, E. S. Skakunova, R. F. Seredenko, and B. V. Sheludchenko, Phys. Rev. B, 78, No. 22: 224109 (2008). Crossref
J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 268, Issues 11–12: 1818 (2010).
В. М. Пилипів, Б. К. Остафійчук, Т. П. Владімірова, Є. М. Кисловський, В. Б. Молодкін, С. Й. Оліховський, О. В. Решетник, О. С. Скакунова, С. В. Лізунова, Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 9, вип. 2: 375 (2011).
В. М. Пилипів, С. Й. Оліховський, Т. П. Владімірова, О. С. Скакунова, В. Б. Молодкін, Б. К. Остафійчук, Є. М. Кисловський, О. В. Решетник, С. В. Лізунова, О. З. Гарпуль, Металлофиз. новейшие технол., 33, № 9: 1147 (2011).
M. Wormington, C. Panaccione, K. M. Matney, and D. K. Bowen, Philos. Trans. R. Soc. Lond. A, 357: 2827 (1999). Crossref
А. Authier, Dynamical Theory of X-Ray Diffraction (Oxford: Oxford University Press: 2003). Crossref