Исследовано формирование фазового состава и структуры в наноразмерных плёнках CoSb$_{x}$ (30 нм) (1,82 $\leq$ х $\leq$ 4,16), осаждённых методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложки окислённого монокристаллического кремния при комнатной температуре и температуре 200°C с последующей термической обработкой в вакууме в интервале температур 300—700°C. Установлено, что плёнки после осаждения находятся в рентгено-аморфном состоянии на холодной подложке и в поликристаллическом состоянии без текстуры на горячей подложке. Кристаллизация аморфных плёнок CoSb$_{x}$ происходит при нагреве в интервале $\cong$ 140—200°C. В плёнках с большим содержанием Sb температурный интервал кристаллизации увеличивается и смещается в сторону больших температур. Интенсивный процесс испарения как избыточной сурьмы, так и сурьмы из антимонидов наблюдается при отжиге рентгеноаморфных плёнок выше температуры 300°C, а поликристаллических плёнок – выше температур 450—500°C, что приводит к увеличению количества фаз CoSb и CoSb$_{2}$ и уменьшению количества CoSb$_{3}$.