Досліджено формування фазового складу і структури в нанорозмірних плівках CoSb$_{x}$ (30 нм) (1,82 $\leq$ х $\leq$ 4,16), осаджених методою молекулярно-променевої епітаксії на підложжя окисненого монокристалічного кремнію за кімнатної температури і температури 200°C з подальшим термічним обробленням у вакуумі в інтервалі температур 300—700°C. Встановлено, що плівки після осадження знаходяться в рентґеноаморфному стані на холодному підложжі та в полікристалічному стані без текстури на гарячому підложжі. Кристалізація аморфних плівок CoSb$_{x}$ відбувається при нагріві в інтервалі $\cong$ 140—200°C. У плівках з більшим вмістом Sb температурний інтервал кристалізації збільшується і зміщується в бік більших температур. Інтенсивний процес випаровування як надмірного стибію, так і стибію з антимонідів спостерігається під час відпалів рентґено-аморфних плівок при температурах, вищих за 300°C, а полікристалічних плівок – при температурах, вищих за 450—500°C, що призводить до збільшення кількости фаз CoSb і CoSb$_{2}$ та зменшення кількости CoSb$_{3}$.