Формирование наноструктурированного рельефа гетероструктур TiN—Fe в гибридном геликон-дуговом плазменном реакторе

Э. М. Руденко$^{1}$, И. В. Короташ$^{1}$, Д. Ю. Полоцкий$^{1}$, Л. С. Осипов$^{1}$, М. В. Дякин$^{1}$, Т. А. Прихна$^{2}$, А. П. Шаповалов$^{2}$

$^{1}$Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 36, 03142 Киев, Украина
$^{2}$Институт сверхтвёрдых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина

Получена: 19.12.2014. Скачать: PDF

Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных плёнок TiN. Структуры плёнок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированный геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров.

Ключевые слова: плёнки TiN, плазма, наноструктуры, геликон-дуговой реактор.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v37/i04/0499.html

PACS: 52.50.Dg, 52.50.Qt, 61.46.Bc, 68.35.Ct, 68.35.Dv, 81.16.Rf, 82.33.Xj

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА

Carbon Nanotube Electronics (Eds. A. Javey and J. Kong) (New York: Springer: 2009).
Carbon Nanotubes and Related Structures: Synthesis, Characterization, Functionalization, and Applications (Eds. D. M. Guldi and N. Martín) (Weinheim, Germany: Wiley-VCH: 2010).
M. Meyyappan, L. Delzeit, A. Cassell, and D. Hash, Plasma Sources Sci. Technol., 12: 205 (2003). Crossref
A. V. Melechko, V. I. Merkulov, T. E. McKnight, M. A. Guillorn, K. L. Klein, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, J. Appl. Phys., 97: 041301 (2005). Crossref
M. S. Bell, K. B. K. Teo, and W. I. Milne, J. Phys. D: Appl. Phys., 40: 2285 (2007). Crossref
M. E. Svavilnyj, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 32, No. 11: 1485 (2010) (in Russian).
J. I. Sohn, Ch.-J. Choi, S. Lee, and T.-Ye. Seong, Appl. Phys. Lett., 78: 3130 (2001). Crossref
V. F. Semenyuk, Eh. M. Rudenko, I. V. Korotash, L. S. Osipov, D. Yu. Polotskiy, K. P. Shamray, V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, and V. A. Sologub, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 33, No. 2: 223 (2011) (in Russian).