Формування наноструктурованого рельєфу гетероструктур TiN—Fe в гібридному гелікон-дуговому плазмовому реакторі

Е. М. Руденко $^{1}$ , І. В. Короташ $^{1}$ , Д. Ю. Полоцький $^{1}$ , Л. С. Осіпов $^{1}$ , М. В. Дякін $^{1}$ , Т. О. Пріхна $^{2}$ , А. П. Шаповалов $^{2}$

$^{1}$ Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03142 Київ, Україна
$^{2}$ Інститут надтвердих матеріалів імені В.М. Бакуля НАН України, вул. Автозаводська, 2, 04074 Київ, Україна

Отримано: 19.12.2014. Завантажити: PDF

Вивчено особливості фізичних механізмів керованого йонно-плазмового формування нових функціональних наноматеріялів. Відпрацьовано технологічні режими формування функціональних наноструктурованих матеріялів за спільної роботи кількох джерел плазми; вивчено структурні та електрофізичні особливості одержаних плівок TiN. Структури плівок досліджено на сканівному тунельному мікроскопі JSPM-4500/4610, зблокованому з атомним силовим мікроскопом. Встановлено, що оптимізований гелікон-дуговий реактор демонструє унікальні властивості і забезпечує кероване низькотемпературне формування щільних упорядкованих наноструктур TiN з розмірами від одиниць до десятків нанометрів.

Ключові слова: плівки TiN, плазма, наноструктури, гелікон-дуговий реактор.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ua/abstract/v37/i04/0499.html

PACS: 52.50.Dg, 52.50.Qt, 61.46.Bc, 68.35.Ct, 68.35.Dv, 81.16.Rf, 82.33.Xj

ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА

Carbon Nanotube Electronics (Eds. A. Javey and J. Kong) (New York: Springer: 2009).
Carbon Nanotubes and Related Structures: Synthesis, Characterization, Functionalization, and Applications (Eds. D. M. Guldi and N. Martín) (Weinheim, Germany: Wiley-VCH: 2010).
M. Meyyappan, L. Delzeit, A. Cassell, and D. Hash, Plasma Sources Sci. Technol., 12: 205 (2003). Crossref
A. V. Melechko, V. I. Merkulov, T. E. McKnight, M. A. Guillorn, K. L. Klein, D. H. Lowndes, and M. L. Simpson, J. Appl. Phys., 97: 041301 (2005). Crossref
M. S. Bell, K. B. K. Teo, and W. I. Milne, J. Phys. D: Appl. Phys., 40: 2285 (2007). Crossref
M. E. Svavilnyj, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 32, No. 11: 1485 (2010) (in Russian).
J. I. Sohn, Ch.-J. Choi, S. Lee, and T.-Ye. Seong, Appl. Phys. Lett., 78: 3130 (2001). Crossref
V. F. Semenyuk, Eh. M. Rudenko, I. V. Korotash, L. S. Osipov, D. Yu. Polotskiy, K. P. Shamray, V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, and V. A. Sologub, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 33, No. 2: 223 (2011) (in Russian).