Показано, что магнетронное распыление эффективно для синтеза различных наноструктурных фаз нитрида никеля (твёрдый раствор азота в никеле, Ni$_{4}$N, Ni$_{3}$N и Ni$_{2}$N). Определены закономерности образования наноколонарных или глобулярных плёночных структур системы Ni—N в зависимости от концентрации азота в буферном газе.