Показано, що магнетронне розпорошення є ефективним для синтези різноманітних наноструктурних фаз нітриду ніклю (твердий розчин Нітроґену у ніклі, Ni$_{4}$N, Ni$_{3}$N та Ni$_{2}$N). Визначено закономірності утворення наноколонарних або ґлобулярних плівкових структур системи Ni—N залежно від концентрації азоту у буферному газі.