Выпуски МФиНТ »  Том 38, выпуск 3

Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si

Ю. П. Першин$^{1}$, А. Ю. Девизенко$^{1}$, В. В. Кондратенко$^{1}$, H. Modrow$^{2}$, F.-J. Hormes$^{3}$

$^{1}$Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина
$^{2}$Physikalisches Institut, Rheinische Friedrich-Wilhelms Universität Bonn, 12 Nuβallee, D-5315 Bundesrepublik, Deutschlan
$^{3}$Canadian Light Source, University of Saskatchewan, 101 Premeter Road, SK S7NOX4 Saskatoon, Canada

Получена: 13.01.2016. Скачать: PDF

Методами рентгеновской дифракции в жёстком ($\lambda =$ 0,154 нм) и мягком (0,8 $< \lambda <$ 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного распыления. Наличие перемешанных прослоек на межфазных границах c составом WSi$_{2}$ оказывает основное влияние на снижение отражательной способности МРЗ в мягкой рентгеновской области. Показана возможность изготовления многослойного зеркала с разрешающей способностью на длине волны 2,36 нм, по меньшей мере, в 5 раз выше, чем у стандартных зеркал W/Si.

Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, мягкое рентгеновское излучение, отражательная способность, разрешающая способность, межфазное взаимодействие, силицид.

URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i03/0367.html

PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 61.05.cf, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Fx, 78.67.Pt, 81.15.Cd

ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
  1. P. J. Potts and A. G. Tindle, Mineralogical Magazine, 53, No. 371: 357 (1989). Crossref
  2. T. C. Huang, A. Fung, and R. L. White, X-Ray Spectrometry, 18, No. 2: 53 (1989). Crossref
  3. F. Frontera and G. Pareschi, Proc. SPIE, 2515: 2 (1995). Crossref
  4. F. Schäfers, M. Grioni, J. Wood, H. van Brug, E. J. Puik, M. Dapor, and F. Marchetti, Proc. SPIE, 984: 23 (1988). Crossref
  5. S. W. Kortboyer, J. B . Goedkoop, F. M. F . De Groot, M. Grioni, J. C. Fuggle, and H. Petersen, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 275, No. 2: 435 (1989). Crossref
  6. C. Michaelsen, P. Ricardo, D. Anders, M. Schuster, J. Schilling, and H. Göbel, Advances in X-ray Analysis, 42: 308 (2000).
  7. A. Erko, F. Schäfers, B. Vidal, A. Yakshin, U. Pietsch, and W. Mahler, Rev. Sci. Instrum., 66, No. 10: 4845 (1995). Crossref
  8. K. D. Joensen, P. Høghøj, F. Christensen, P. Gorenstein, J. Susini, E. Ziegler, and A. Freund, J. Wood, Proc. SPIE, 2011: 360 (1994). Crossref
  9. D. Spiga, A. Mirone, G. Pareschi, R. Canestrari, V. Cotroneo, C. Ferrari, C. Ferrero, L. Lazzarini, and D. Vernani, Proc. SPIE, 6266: 626616 (2006). Crossref
  10. M. Jergel, P. Mikulík, E. Majková, Š. Luby, R. Senderák, E. Pinèík, M. Brunel, P. Hudek, I. Kostiè, and A. Koneèníková, Materials Structure, 6, No. 1: 11 (1999).
  11. M. Jergel, C. Falcony, P. Mikulík, L. Ortega, E. Majková, E. Pinèík, Š. Luby, I. Kostiè, and P. Hudek, Superficies y Vacío, No. 13: 10 (2001).
  12. R. M. Fechtchenko, A. V. Vinogradov, and D. L. Voronov, Opt. Commun., 210, Nos. 3–6: 179 (2002). Crossref
  13. P. Mikulík, M. Jergel, T. Baumbach, E. Majková, E. Pinèík, Š. Luby, L. Ortega, R. Tucoulou, P. Hudek, and I. Kostiè, J. Phys. D, 34, No. 10: A188 (2001). Crossref
  14. M. Jergel, P. Mikulík, E. Majková, Š. Luby, R. Senderák, E. Pinčík, M. Brunel, P. Hudek, I. Kostič, and A. Konečníková, J. Appl. Phys., 85, No. 2: 1225 (1999). Crossref
  15. Ch. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, M. A. Zurbuchen, and G. B. Stephenson, J. Appl. Phys., 98, No. 1: 113519 (2005). Crossref
  16. H. C. Kang, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, S. Bajt, and H. N. Chapman, Appl. Phys. Lett., 86, No. 1: 151109 (2005). Crossref
  17. H. C. Kang, J. Maser, G. B. Stephenson, C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, and S. Vogt, Phys. Rev. Lett., 96, No. 12: 127401 (2006). Crossref
  18. H. Ch. Kang, G. B. Stephenson, Ch. Liu, R. Conley, R. Khachatryan, M. Wieczorek, A. T. Macrander, H. Yan, J. Maser, J. Hiller, and R. Koritala, Rev. Sci. Instrum., 78, No. 4: 046103 (2007). Crossref
  19. И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов, А. Ю. Девизенко, Н. В. Калинин, И. А. Копылец, В. Е. Пуха, Б. А. Савицкий, Р. М. Фещенко, ЖТФ, 82, № 9: 101 (2012).
  20. N. F. Brejnholt, F. E. Christensen, C. J. Hailey, N. M. Barrière, W. W. Craig, B. Grefenstette, J. Koglin, K. KruseMadsen, J. K. Vogel, H. An, K. Blaedel, J. Brown, T. Decker, Z. Haider, A. C. Jakobsen, C. P. Cooper-Jensen, K. Mori, M. Nynka, M. J. Pivovaroff, C. Sleator, D. Stefanik, M. Stern, G. Tajiri, D. Thornhill, and J. S. Cushman, X-Ray Optics and Instrumentation, 2011: ID 285079 (2011).
  21. K. K. Madsen, F. E. Christensen C. P. Jensena, E. Zieglerb, W. W. Craigc, K. Gundersonc, J. E. Koglind, and K. Pedersen, Proc. SPIE, 5168: 41 (2004). Crossref
  22. K. D. Joensen, P. Voutov, A. Szentgyorgyi, J. Roll, P. Gorenstein, P. Høghøj, and F. E. Christensen, Appl. Opt., 34, No. 34: 7935 (1995). Crossref
  23. P. H. Mao, F. A. Harrison, Y. Y. Platonov, D. M. Broadway, B. DeGroot, F. E. Christensen, W. W. Craig, and C. J. Hailey, Proc. SPIE, 3114: 526 (1997). Crossref
  24. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys., 88, No. 1: 460 (2000). Crossref
  25. J. B. Kortright, St. Joksch, and E. Ziegler, J. Appl. Phys., 69, No. 1: 168 (1991). Crossref
  26. Y. S. Chu, C. Liu, D. C. Mancini, F. De Carlo, A. T. Macrander, B. Lai, and D. Shu, Rev. Sci. Instrum., 73, No. 3: 1485 (2002). Crossref
  27. L. E. Berman, Z. Yin, S. B. Dierker, E. Dufresne, S. G. J. Mochrie, O. K. C. Tsui, S. K. Burley, F. Shu, X. Xie, M. S. Capel, and R. M. Sweet, AIP Conf. Proc., 417: 71 (1997). Crossref
  28. E. Ziegler, Y. Lepêtre, S. Joksch, V. Saile, S. Mourikis, P. J. Viccaro, G. Rolland, and F. Laugier, Rev. Sci. Instrum., 60, No. 7: 1999 (1989). Crossref
  29. A. K. Freund, Structure, 4, No. 2: 121 (1996). Crossref
  30. W. C. Shih and W. M. Stobbs, Ultramicroscopy, 32: 219 (1990). Crossref
  31. M. M. Hasan, R. J. Highmore, and R. E. Somekh, Vacuum, 43, Nos. 1/2: 55 (1992). Crossref
  32. D. L. Windt, F. E. Christensen, W. W. Craig, C. Hailey, F. A. Harrison, M. Jimenez-Garate, R. Kalyanaraman, and P. H. Mao, J. Appl. Phys., 88, No. 1: 460 (2000). Crossref
  33. Y. P. Pershyn, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, V. A. Sevryukova, and S. V. Kurbatova, Appl. Phys. A, 103, No. 4: 1021 (2011). Crossref
  34. W. S. Lau, J. Zhang, X. Wan, J. K. Luo, Y. Xu, and H. Wong, AIP Advances, 4: 027120 (2014). Crossref
  35. Y.-P. Wang, H. Zhou, L. Zhou, and R. L. Headrick, A. T. Macrander, and A. S. Özcan, J. Appl. Phys., 101, No. 2: 023503 (2007). Crossref
  36. E. Spiller, S. Baker, E. Parra, and C. Tarrio, Proc. SPIE, 3767: 143 (1999). Crossref
  37. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник (Ред. Н. П. Лякишев) (Москва: Машиностроение: 2000), т. 3, книга 2, с. 301.
  38. Зеркальная рентгеновская оптика (Ред. А. В. Виноградов) (Ленинград: Машиностроение: 1989).
  39. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Tables, 54, No. 2: 181 (1993). Crossref
  40. J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Roulliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A, 88, No. 4: 719 (2007). Crossref
  41. G. Love and V. D. Scott, Inst. Phys. Conf. Ser., No. 90: 349 (1987).
  42. Р. Джеймс, Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей (Москва: Иностранная литература: 1950).
  43. З. Г. Пинскер, Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах (Москва: Наука: 1974).
  44. В. И. Иверонова, Г. П. Ривкевич, Теория рассеяния рентгеновских лучей (Москва: Издательство МГУ: 1978).
  45. Y. Platonov, L. Gomez, and D. Broadway, Proc. SPIE, 4782: 152 (2002). Crossref

© 2013–2017 «ИМФ НАН Украины»