Структурные и рентгено-оптические характеристики многослойных рентгеновских зеркал W/Si
Ю. П. Першин1, А. Ю. Девизенко1, В. В. Кондратенко1, H. Modrow2, F.-J. Hormes3
1Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина
2Physikalisches Institut, Rheinische Friedrich-Wilhelms Universität Bonn, 12 Nuβallee, D-5315 Bundesrepublik, Deutschlan
3Canadian Light Source, University of Saskatchewan, 101 Premeter Road, SK S7NOX4 Saskatoon, Canada
Получена: 13.01.2016. Скачать: PDF
Методами рентгеновской дифракции в жёстком (λ= 0,154 нм) и мягком (0,8 <λ< 2,4 нм) диапазонах исследована структура и оптические свойства серии многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si с систематически изменяющимся периодом в диапазоне 1—6 нм, изготовленных методом магнетронного распыления. Наличие перемешанных прослоек на межфазных границах c составом WSi2 оказывает основное влияние на снижение отражательной способности МРЗ в мягкой рентгеновской области. Показана возможность изготовления многослойного зеркала с разрешающей способностью на длине волны 2,36 нм, по меньшей мере, в 5 раз выше, чем у стандартных зеркал W/Si.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, мягкое рентгеновское излучение, отражательная способность, разрешающая способность, межфазное взаимодействие, силицид.
URL: http://mfint.imp.kiev.ua/ru/abstract/v38/i03/0367.html
PACS: 07.85.Fv, 41.50.+h, 61.05.cf, 61.05.cm, 61.05.cp, 68.35.Fx, 78.67.Pt, 81.15.Cd